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本实用新型涉及一种TFT‑LCD加工设备，尤其是一种喷淋式蚀刻机，包括依次连接的蚀刻段和清洗段，所述蚀刻段包括依次连接的第一蚀刻部、第二蚀刻部、第三蚀刻部、第四蚀刻部和第五蚀刻部；所述第一蚀刻部包括第一辊道、第一吹尘器、第一药液循环系统，所...
该专利属于广州市万亿达电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市万亿达电子设备有限公司授权不得商用。

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