一种TFT蚀刻脱膜机制造技术

本实用新型专利技术公开一种TFT蚀刻脱膜机，包括脱模室、控制器、抽液组合、热风机、真空泵、万向轮组和冷却机；所述脱模室包括蚀刻槽、伸缩吸盘组合、第一直线电机、第一小型机械臂组合、第二直线电机和第二小型机械臂组合；本实用新型专利技术在不需要对玻璃基板进行蚀刻时，抽液组合中的抽液机将脱模室中蚀刻槽内部的蚀刻液抽回储液箱通，避免对工作人员或者其他部件造成损伤，通过真空泵和伸缩吸盘组合的配合，可以使吸盘吸起玻璃基板，代替加持装置且避免对玻璃基板造成损害，再通过第一直线电机驱动第一小型机械臂组合升降，第二直线电机驱动第二小型机械臂组合升降，可以减少第一小型机械臂组合和第二小型机械臂组合受到蚀刻液的损害。和第二小型机械臂组合受到蚀刻液的损害。和第二小型机械臂组合受到蚀刻液的损害。

【技术实现步骤摘要】
一种TFT蚀刻脱膜机


[0001]本技术涉及TFT蚀刻脱模
，具体涉及一种TFT蚀刻脱膜机。

技术介绍

[0002]玻璃基板是平板显示产业中不可或缺的关键基础部件之一。传统的玻璃基板一般采用化学减薄法进行处理，脱模时大多数依靠静力作用在轻重机械上装配的夹扯和推顶专用工具，因玻璃基板厚度减薄，在夹扯边缘部位容易发生严重的锯齿现象。现有的蚀刻脱膜机有的是通过机械臂和楔形铲刀对玻璃基板和吸附垫进行分离，但是没有可以避免损害玻璃的夹持装置、且需要工作人员从蚀刻液中拿起玻璃基板，导致工作人员的手易被蚀刻液伤害，设置在蚀刻槽旁边的机械臂和楔形铲刀亦容易被蚀刻液所损害。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术目的是提供一种可以升降机械臂、加持玻璃基板且能自由收放蚀刻液的TFT蚀刻脱膜机。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术的技术方案是一种TFT蚀刻脱膜机，包括脱模室，设置在所述脱模室一侧的控制器，设置在所述脱模室另一侧的抽液组合，设置在所述脱模室上方的热风机，设置在所述热风机一侧的真空泵，设置在所述脱模室下端的万向轮组，设置在所述万向轮组之间的冷却机；所述脱模室包括蚀刻槽，设置在所述蚀刻槽上方的伸缩吸盘组合，设置在所述伸缩吸盘组合一侧的、且固定在脱模室内侧壁上的第一直线电机，设置在所述第一直线电机和伸缩吸盘组合之间的第一小型机械臂组合，设置在所述伸缩吸盘组合另一侧的、且固定在脱模室内侧壁上的第二直线电机，设置在所述第二直线电机和伸缩吸盘组合之间的第二小型机械臂组合。
[0005]作为优选，所述抽液组合包括储液箱，设置在所述储液箱下方的抽液机。
[0006]作为优选，所述伸缩吸盘组合包括液压缸，设置在所述液压缸输出端的吸盘。
[0007]作为优选，所述第一小型机械臂组合包括第一机械臂本体，设置在所述第一机械臂本体末端的第一微型铲刀。
[0008]作为优选，所述第二小型机械臂组合包括第二机械臂本体，设置在所述第二机械臂本体末端的第二微型铲刀。
[0009]作为优选，所述第一微型铲刀的内部设置有第一气道，所述第二微型铲刀的内部设置有第二气道。
[0010]作为优选，所述蚀刻槽内部设置有吸附垫。
[0011]本技术技术效果主要体现：本技术在不需要对玻璃基板进行蚀刻时，抽液组合中的抽液机将脱模室中蚀刻槽内部的蚀刻液抽回储液箱，避免对工作人员或者其他部件造成损伤，通过真空泵和伸缩吸盘组合的配合，可以使吸盘吸起玻璃基板，代替加持装置且避免对玻璃基板造成损害，再通过第一直线电机驱动第一小型机械臂组合升降，第二直线电机驱动第二小型机械臂组合升降，可以减少第一小型机械臂组合和第二小型机械臂
组合受到蚀刻液的损害。
附图说明
[0012]图1为本技术一种TFT蚀刻脱膜机结构示意图；
[0013]图2为图1为第一微型铲刀剖视图。
具体实施方式
[0014]以下结合附图，对本技术的具体实施方式作进一步详述，以使本技术技术方案更易于理解和掌握。
[0015]在本实施例中，需要理解的是，术语“中间”、“上”、“下”、“顶部”、“右侧”、“左端”、“上方”、“背面”、“中部”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0016]另，在本具体实施方式中如未特别说明部件之间的连接或固定方式，其连接或固定方式均可为通过现有技术中常用的螺栓固定或钉销固定，或销轴连接等方式，因此，在本实施例中不在详述。
[0017]一种TFT蚀刻脱膜机，如图1所示，包括脱模室1，设置在所述脱模室1一侧的控制器2，设置在所述脱模室1另一侧的抽液组合3，设置在所述脱模室1上方的热风机4，设置在所述热风机4一侧的真空泵5，设置在所述脱模室1下端的万向轮组6，设置在所述万向轮组6之间的冷却机7；所述脱模室1包括蚀刻槽11，设置在所述蚀刻槽11上方的伸缩吸盘组合12，设置在所述伸缩吸盘组合12一侧的、且固定在脱模室1内侧壁上的第一直线电机13，设置在所述第一直线电机13和伸缩吸盘组合12之间的第一小型机械臂组合14，设置在所述伸缩吸盘组合12另一侧的、且固定在脱模室1内侧壁上的第二直线电机15，设置在所述第二直线电机15和伸缩吸盘组合12之间的第二小型机械臂组合16。所述第一小型机械臂组合14和第二小型机械臂组合16的结构一致。所述抽液组合3包括储液箱31，设置在所述储液箱31下方的抽液机32。所述蚀刻槽11通过管道与抽液机32联通，所述抽液机32可将蚀刻槽11内的蚀刻液抽回储液箱31。所述伸缩吸盘组合12包括液压缸121，设置在所述液压缸121输出端的吸盘122。所述吸盘122通过气管与真空泵5联通，通过所述真空泵5抽出吸盘122和玻璃之间的空气，降低内部气压，方便提起玻璃。所述蚀刻槽11内部设置有吸附垫111。所述吸附垫111用于固定玻璃基板。
[0018]如图2所示，所述第一小型机械臂组合14包括第一机械臂本体141，设置在所述第一机械臂本体141末端的第一微型铲刀142。所述第二小型机械臂组合16包括第二机械臂本体161，设置在所述第二机械臂本体161末端的第二微型铲刀162。所述第一微型铲刀142的内部设置有第一气道1421，所述第二微型铲刀162的内部设置有第二气道1621。所述第一气道1421和第二气道1621分别与所述热风机4通过气管连接。所述热风机4吹送热风，通过该热胀冷缩效应快速分离玻璃基板和吸附垫。所述第一微型铲刀142和第二微型铲刀162的结构一致。所述第一微型铲刀142和第二微型铲刀162与水平方向的夹角为15
°
～30
°
。
[0019]本实施例中所述热风机4型号为RY
‑
P
‑
3A
‑
025，所述真空泵5型号为SV100B，所述抽液机32的型号为YWY12
‑
215的水泵；所述控制器2的型号为CHTK
‑
L；所述第一直线电机和第
二直线电机的型号为BM202。
[0020]工作原理：首先，将玻璃基板安置在所述吸附垫111上，之后往所述蚀刻槽11放入蚀刻液进行蚀刻，蚀刻完毕后，所述控制器2控制所述冷却机7降低所述蚀刻槽11内部蚀刻液的温度，降温后，所述控制器2控制所述抽液组合3中的抽液机32将所述蚀刻槽11内部的蚀刻液抽回所述储液箱31；其次，所述控制器2控制所述第一直线电机13和第二直线电机15分别驱动第一小型机械臂组合14和第二小型机械臂组合16下降，所述第一微型铲刀142和第二微型铲刀162分别插入所述吸附垫111和玻璃基板之间，所述热风机4吹送热风到所述第一微型铲刀142和第二微型铲刀162，热风通过所述第一气道1421和第二气道1621进入所述吸附垫111和玻璃基板之间，利用热胀冷缩效应快速分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TFT蚀刻脱膜机，包括脱模室，设置在所述脱模室一侧的控制器，设置在所述脱模室另一侧的抽液组合，设置在所述脱模室上方的热风机，设置在所述热风机一侧的真空泵，设置在所述脱模室下端的万向轮组，设置在所述万向轮组之间的冷却机；其特征在于：所述脱模室包括蚀刻槽，设置在所述蚀刻槽上方的伸缩吸盘组合，设置在所述伸缩吸盘组合一侧的、且固定在脱模室内侧壁上的第一直线电机，设置在所述第一直线电机和伸缩吸盘组合之间的第一小型机械臂组合，设置在所述伸缩吸盘组合另一侧的、且固定在脱模室内侧壁上的第二直线电机，设置在所述第二直线电机和伸缩吸盘组合之间的第二小型机械臂组合。2.如权利要求1所述一种TFT蚀刻脱膜机，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈斐，
申请(专利权)人：广州市万亿达电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：