挠性半导体装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种挠性半导体装置。本发明专利技术的挠性半导体装置具有：支承层、形成于支承层之上的半导体结构部、和形成于半导体结构部之上的树脂膜而被构成。本发明专利技术的挠性半导体装置中，由激光的照射所形成的孔径部被形成于树脂膜上；在所述树脂膜的孔径部，形成有与半导体结构部的表面接触的导电构件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及具有可挠性的。更详细地说，是涉及能够作为TFT使用的。
技术介绍
随着信息终端的普及，作为计算机用的显示器，对于平板显示器的需求提高，另外，随着信息化的进一步发展，以往由纸媒介提供的信息被电子化的机会增加。特别是近来，作为轻薄、超便携的移动用显示媒体，电子纸或数字纸的需求也正在提高(专利文献1寸乂 O通常，在平板显示器中，是使用利用了液晶、有机EL(有机电致发光)、电泳等的元件来形成显示媒体。在这样的显示媒体中，为了确保画面亮度的均勻性和画面更新速度等， 作为图像驱动元件使用有源驱动元件(TFT元件)的技术成为主流。例如，在通常的电脑显示器中，是在基板上形成这些TFT元件且包封有液晶、有机EL元件等。在此，在TFT元件中主要能够使用a_Si(非晶硅)/p_Si(多晶硅)等的半导体。使这些Si半导体(根据需要也可以是金属膜)多层化，在基板上依次形成源极、漏极、栅极， 来制造成TFT元件。因为在使用这样的Si材料的TFT元件的形成中包含高温的工序，所以要施加作为基板材料必须使用耐受工序高温的材料这一限制。因此，实际上作为基板，需要使用耐热性优异的玻璃基板。还有，也可以使用本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种挠性半导体装置，其特征在于，具有以下部件而成：支承层；形成于所述支承层上的半导体结构部；和形成于所述半导体结构部之上的树脂膜，并且，在所述树脂膜上，具有由激光的照射所形成的孔径部，在所述孔径部形成有与所述半导体结构部的表面接触的导电构件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木武，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP