【技术实现步骤摘要】
本申请总的涉及半导体设备制造系统，尤其是涉及在制造设备内基片载体的传送。相关申请的交叉引用本申请涉及以下相同受让人的、同时待审的美国专利申请，这些申请在此全文引为参考。2002.8.31提出的序列号60/407,451，专利技术名称为“用于传送晶片载体的系统(System for Transporting Wafer Carriers)”的美国临时专利申请(代理人卷号6900/L)；2002.8.31提出的序列号60/407,339，专利技术名称为“利用晶片载体运动来驱动晶片载体门开/关的方法和装置(Method and Apparatus for Using WaferCarrier movement to Actuate Wafer Carrier Door Opening/Closing)”的美国临时专利申请(代理人卷号6976/L)；2002.8.31提出的序列号60/407,474，专利技术名称为“从基片载体传送系统上卸载基片载体的方法和装置(Method and Apparatus for Uhloading WaferCarrier from ...
【技术保护点】
一种用于向加工工具提供基片的装置，其包括：基片载体搬运器，其用于向该加工工具的第一加载端口传送基片载体，该基片载体搬运器包括一个用于支撑基片载体的端部操作装置；以及 控制器，其与该基片载体搬运器联接并可操作地控制该基片载体搬 运器，这样当基片载体在运动中并由基片载体运输装置传送时，该基片载体搬运器的端部操作装置可使该基片载体从该基片载体运输装置上脱离开。
【技术特征摘要】
US 2002-8-31 60/407,463;US 2003-1-27 60/443,0041.一种用于向加工工具提供基片的装置，其包括基片载体搬运器，其用于向该加工工具的第一加载端口传送基片载体，该基片载体搬运器包括一个用于支撑基片载体的端部操作装置；以及控制器，其与该基片载体搬运器联接并可操作地控制该基片载体搬运器，这样当基片载体在运动中并由基片载体运输装置传送时，该基片载体搬运器的端部操作装置可使该基片载体从该基片载体运输装置上脱离开。2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该控制器可操作地控制该基片载体搬运器，这样在基片载体从该基片载体运输装置上脱离的至少一部分过程中，使得该基片载体搬运器的端部操作装置大体上与该基片载体的运动相匹配。3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，该控制器可操作地控制该基片载体搬运器，这样在基片载体从该基片载体运输装置上脱离的至少一部分过程中，使得该基片载体搬运器的端部操作装置大体上与该基片载体的速度相匹配。4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，该控制器可操作地控制该基片载体搬运器，这样在基片载体从该基片载体运输装置上脱离的至少一部分过程中，使得该基片载体搬运器的端部操作装置沿水平方向大体上与该基片载体的速度和位置相匹配。5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该控制器还可操作地控制该基片载体搬运器，这样当该基片载体运输装置传送基片载体时，使得端部操作装置运动以便保持在该基片载体下方和附近。6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，该控制器还可操作地控制该基片载体搬运器，这样该基片载体搬运器的端部操作装置在沿水平方向运动的同时被提升，从而使基片载体从该基片载体运输装置上脱离开。7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该控制器还可操作地控制该基片载体搬运器，这样该端部操作装置沿一垂直方向以大体上零或小于零的速度和大体上零或小于零的加速度中至少一个接触该基片载体，从而使基片载体从该基片载体运输装置上脱离开。8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，该控制器还可操作地控制该基片载体搬运器，这样该端部操作装置沿该基片载体运输装置移动的水平方向以大体上零或小于零的加速度接触该基片载体，从而使基片载体从该基片载体运输装置上脱离开。9.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该基片载体搬运器包括一垂直导杆和一联接在该垂直导杆上的水平导杆。10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，该基片载体搬运器包括一对垂直导杆；将该水平导杆安装成可沿该垂直导杆垂直地运动；以及将该端部操作装置安装成可沿该水平导杆水平地运动。11.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该基片载体搬运器用于将该端部操作装置移动到至少一个高度，在该高度上该基片载体运输装置传送该基片载体。12.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该第一加载端口包括一第一对接站，而且还包括至少一个相对该第一对接站垂直设置的其它对接站。13.如权利要求12所述的装置，其特征在于，还包括两列对接站，该第一对接站包括在该两列对接站的一个中。14.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括至少一个联接到控制器上的传感器，其用于指示该基片载体运输装置的一部件的位置。15.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该基片载体是单一的基片载体。16.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该基片载体搬运器的端部操作装置包括一水平定位的平台，其具有多个运动部件。17.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该运输装置位于该基片载体搬运器的上方。18.如权利要求1所述的装置，还包括至少一个用于存储基片载体的存储搁板；其中，该基片载体搬运器用于在该第一加载端口和至少一个存储搁板之间传送基片载体。19.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该控制器还可操作地控制该基片载体搬运器，这样当该基片载体运输装置在运动中时，该基片载体搬运器的端部操作装置可向该基片载体运输装置传送基片载体。20.如权利要求19所述的装置，其特征在于，该控制器可操作地控制该基片载体搬运器，这样在基片载体向该基片载体运输装置上传送的至少一部分过程中，使得该基片载体搬运器的端部操作装置大体上与该基片载体运输装置的运动相匹配。21.如权利要求20所述的装置，其特征在于，该控制器可操作地控制该基片载体搬运器，这样在基片载体向该基片载体运输装置上传送的至少一部分过程中，使得该基片载体搬运器的端部操作装置大体上与该基片载体运输装置的速度相匹配。22.如权利要求21所述的装置，其特征在于，该控制器可操作地控制该基片载体搬运器，这样在基片载体向该基片载体运输装置上传送的至少一部分过程中，使得该基片载体搬运器的端部操作装置沿水平方向大体上与该基片载体运输装置的速度相匹配。23.如权利要求19所述的装置，其特征在于，该控制器还可操作地控制该基片载体搬运器，这样该基片载体沿一垂直方向以大体上零或小于零的速度和大体上零或小于零的加速度中至少一个接触该基片载体运输装置，从而使基片载体加载到该基片载体运输装置上。24.如权利要求23所述的装置，其特征在于，该控制器还可操作地控制该基片载体搬运器，这样该基片载体沿基片载体输送装置移动的水平方向以大体上零或小于零的加速度接触该基片载体运输装置，从而使基片载体加载到该基片载体运输装置上。25.一种用于向加工工具提供基片的装置，其包括基片载体搬运器，其用于向该加工工具的第一加载端口传送基片载体，该基片载体搬运器包括垂直导杆；联接在该垂直导杆上的水平导杆；以及用于支撑基片载体的端部操作装置，其可相对垂直导杆垂直地移动并可相对水平导杆水平地移动；以及控制器，其与该基片载体搬运器联接并可操作地控制该基片载体搬运器，这样该基片载体搬运器的端部操作装置可使该基片载体从位于基片载体搬运器附近的基片载体运输装置上脱离开。26.如权利要求25所述的装置，其特征在于，该基片载体搬运器包括一对垂直导杆，并且其中该水平导杆用于沿该对垂直导杆垂直地运动；以及该端部操作装置用于沿该水平导杆水平地运动。27.如权利要求25所述的装置，其特征在于，该控制器还可操作地控制该基片载体搬运器，这样当该基片载体在运动中并且由该基片载体运输装置传送时，该基片载体搬运器的端部操作装置可使基片载体从该基片载体运输装置上脱离开。28.一种传送基片载体的方法，其包括运输位于一基片加载站附近的基片载体运输装置上的基片载体，该基片加载站包括一基片载体搬运器，其用于向一加工工具的加载端口传送基片载体；以及利用基片加载站的基片载体搬运器的端部操作装置使基片载体从基片载体运输装置上脱离开，同时基片载体在运动中并且是由基片载体运输装置来传送。29.如权利要求28所述的方法，其特征在于，利用基片加载站的基片载体搬运器的端部操作装置使基片载体脱离开的步骤包括使端部操作装置运动，这样在基片载体从该基片载体运输装置上脱离的至少一部分过程中，使得该端部操作装置大体上与该基片载体的运动相匹配。30.如权利要求29所述的方法，其特征在于，使端部操作装置运动以便大体上与该基片载体的运动相匹配的步骤包括，使端部操作装置运动，这样在基片载体从该基片载体运输装置上脱离的至少一部分过程中，使得该端部操作装置大体上与该基片载体的速度相匹配。31.如权利要求29所述的方法，其特征在于，使端部操作装置运动以便大体上与该基片载体的运动相匹配的步骤包括，使端部操作装置运动，这样在基片载体从该基片载体运输装置上脱离的至少一部分过程中，使得该端部操作装置沿水平方向大体上与该基片载体的速度和位置相匹配。32.如权利要求28所述的方法，其特征在于，基片载体的脱离包括提升端部操作装置以使其接触该基片载体的底部。33.如权利要求28所述的方法，其特征在于，基片载体的脱离包括沿一水平导杆使端部操作装置运动，该水平导杆是基片载体搬运器的一部分。34.如权利要求33所述的方法，其特征在于，基片载体的脱离包括沿至少一个垂直导杆提升该水平导杆，该垂直导杆是基片载体搬运器的一部分。35.如权利要求28所述的方法，其特征在于，基片载体的脱离包括使端部操作装置运动到用于传送基片载体的高度。36.如权利要求28所述的方法，其特征在于，利用基片加载站的基片载体搬运器的端部操作装置使基片载体脱离的步骤包括，使该端部操作装置沿垂直方向以大体上零或小于零的速度和大体上零或小于零的加速度中至少一个接触该基片载体，从而使基片载体从该基片载体运输装置上脱离开。37.如权利要求36所述的方法，其特征在于，利用基片加载站的基片载体搬运器的端部操作装置使基片载体脱离的步骤包括，使该端部操作装置沿基片载体运输装置移动的水平方向以大体上零或小于零的加速度接触该基片载体，从而使基片载体从该基片载体运输装置上脱离开。38.如权利要求28所述的方法，其特征在于，所述的运输基片载体包括在基片加载站的上方运输基片载体。39.如权利要求28所述的方法，还包括利用端部操作装置使基片载体传送到基片载体运输装置上，同时基片载体运输装置是在运动中。40.如权利要求39所述的方法，其特征在于，所述的利用端部操作装置使基片载体传送到基片载体运输装置上的步骤包括使端部操作装置运动，这样在将基片载体传送到基片载体运输装置上的至少一部分过程中，使得该端部操作装置大体上与该基片载体运输装置的运动相匹配。41.如权利要求40所述的方法，其特征在于，所述的使端部操作装置运动以便大体上与该基片载体运输装置的运动相匹配的步骤包括，使端部操作装置运动，这样使该端部操作装置大体上与该基片载体运输装置的速度相匹配。42.如权利要求40所述的方法，其特征在于，所述的使端部操作装置运动以便大体上与该基片载体运输装置的运动相匹配的步骤包括，使端部操作装置运动，这样使该端部操作装置沿水平方向大体上与该基片载体运输装置的速度相匹配。43.如权利要求39所述的方法，其特征在于，所述的将基片载体传送到基片载体运输装置的步骤包括降低端部操作装置以便将基片载体移交到该基片载体运输装置的载体接合件...
【专利技术属性】
技术研发人员：迈克尔R赖斯，杰弗里C赫金斯，埃里克A恩格尔哈德，罗伯特B劳伦斯，马丁R埃里奥特，
申请(专利权)人：应用材料有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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