电子源基板及其制造方法和使用该基板的图像形成装置制造方法及图纸

提供能解决因布线材料扩散引起的电子发射元件特性恶化的电子源基板及其制造方法。特别是提供即使在形成了钠扩散防止层的基板表面上用印刷法等廉价方法形成了布线的情况下也能防止电子发射特性的恶化的电子源基板。本发明专利技术是为了解决因布线金属传播并扩散到元件电极与基板的界面上引起的电子发射元件的特性恶化而进行的。在基板上具有由一对元件电极和具有电子发射部的导电性薄膜构成的电子发射元件和被连接到该元件电极上的、由与该元件电极不同组分构成的金属布线的电子源基板中，该导电性薄膜与该金属布线的沿该元件电极与上述基板的界面的最短距离为５０微米以上。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使用了电子发射元件的电子源基板及其制造方法和使用了电子源基板的图像形成装置。
技术介绍
以往，作为利用了电子发射元件的图像形成装置，已知有使形成了多个冷阴极电子发射元件的电子源基板与具备透明电极和荧光体的阳极电极平行地对置并进行了抽真空的平面型电子束显示面板。在这样的图像形成装置中，使用了电场发射型电子发射元件的装置例如有在I.Brodie，”Advanced technologyflat cold-cathode CRTs(先进的技术平板冷阴极CRT)”，Information Display，1/89，17(1989)中公开的装置。此外，在特开昭63-274047号公报、在特开昭63-274048号公报、USP4904895等中，公开了在基板表面上具有一对电极的电场发射型电子发射元件。此外，例如在USP5066883号等中公开了使用表面传导型电子发射元件的装置。平面型的电子束显示面板与现在广泛地使用的阴极射线管(CRT)显示装置相比，可谋求轻量化、大画面化，此外，与利用液晶的平面型显示面板或等离子显示器、电致发光显示器等其它的平面型显示面板相比，可提供更高的亮度、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子源基板，该电子源基板在基板上具有由一对元件电极和具有电子发射部的导电性薄膜构成的电子发射元件和被连接到该元件电极上的、由与该元件电极不同组分构成的金属布线，其特征在于： 该导电性薄膜与该金属布线的沿该元件电极与上述基板的界面的最短距离为５０微米以上。

【技术特征摘要】
JP 2001-8-28 257176/20011.一种电子源基板，该电子源基板在基板上具有由一对元件电极和具有电子发射部的导电性薄膜构成的电子发射元件和被连接到该元件电极上的、由与该元件电极不同组分构成的金属布线，其特征在于该导电性薄膜与该金属布线的沿该元件电极与上述基板的界面的最短距离为50微米以上。2.如权利要求1中所述的电子源基板，其特征在于上述最短距离为100微米以上。3.一种电子源基板，该电子源基板在基板上具有由一对元件电极和具有电子发射部的导电性薄膜构成的电子发射元件和被连接到该元件电极上的、由与该元件电极不同组分构成的金属布线，其特征在于上述导电性薄膜与上述金属布线之间的沿上述元件电极与上述基板的界面的最短路径由多条直线或曲线的组合来构成。4.如权利要求3中所述的电子源基板，其特征在于在上述导电性薄膜与上述金属布线的直线最短路径上有不存在上述元件电极的区域。5.如权利要求3中所述的电子源基板，其特征在于在上述导电性薄膜与上述金属布线的直线最短路径上有存在上述元件电极的区域和不存在上述元件电极的区域。6.如权利要求1或3中所述的电子源基板，其特征在于上述元件电极的材料是至少包含铂材料的金属材料。7.如权利要求1或3中所述的电子源基板，其特征在于上述基板由含有钠的玻璃基体和在该玻璃基体上形成的钠扩散防止层构成。8.如权利要求7中所述的电子源基板，其特征在于上述含有钠的玻璃基体由钠钙玻璃构成。9.如权利要求7中所述的电子源基板，其特征在于上述钠扩散防止层由厚度为500nm以上的二氧化硅覆盖膜构成。10.如权利要求9中所述的电子源基板，其特征在于上述...

【专利技术属性】
技术研发人员：蜂巢高弘，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]