一种在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法技术

本发明专利技术属于芯片锡球制备工艺，其公开了一种在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法，步骤为：第一次锡膏印刷→第一次回流焊→助焊剂清洗→第一次锡球压平→第二次锡膏印刷→第二次回流焊→助焊剂清洗→第二次锡球压平→锡球检查。本发明专利技术在现有锡膏印刷工法设备的基础上，通过二次印刷工艺流程，可以在焊盘的小间距之间制作出较高的凸点锡球，且芯片与基板之间的连接可靠性好，而又不需要增加新的设备投资，从而更加全面地对应客户多样化的凸点锡球高度规格要求；利用该工艺，可制作凸点锡球间距约为100～150μm、锡球高度为25-40μm的产品。

【技术实现步骤摘要】
一种在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法
本专利技术涉及芯片锡球制备工艺，尤其涉及一种在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法。
技术介绍
随着电子产品不断向多功能化、小型轻量化、高性能化的方向发展；芯片的布线越来越精细化，同时与芯片相连接的封装基板也越来越精细化。采用wirebonding(引线键合)的连接方式越来越不能满足高精度的要求。FlipChip(倒装芯片)是比wirebonding具有更高密度连接I/O的一种连接方式；随着芯片技术的发展，封装基板上与芯片相连接的bump(隆起)凸点的密度也越来越高。目前制作bump锡球的工艺主要有：(1)锡膏印刷工法：在具有特定图形(钢网开口)的钢网上印刷锡膏，回流清洁后形成Bump；其优点是可以简易变更焊锡合金，可吸收SRO(solderresistopening，阻焊开窗)、MMO的偏差，可使用既有设备，可在各种形状的Pad(焊盘)上形成Bump，生产效率高，对位精度高。其缺点是有Bumpvoid(锡球空洞)、BumpHeight(隆起高度，简称bumpht)有界限。(2)锡球工法：用在金属网板或格网涂敷助焊剂后涂锡球；之后，进行回流焊、清洁后形成Bump；其优点是可形成高Bumpht、Bumpvoid少；其缺点是精度对位能力有限，无法吸收SRO的偏差，组成变更时污染的可能性大。(3)SJ法(SuperJaffit)：在Pad上选择性的涂敷粘着液，然后在Pad上涂锡粉，再涂助焊剂，回流清洗后形成bump；其优点是焊锡膜厚的均一性良好；缺点是焊锡的高度无法拉高，组成变更时污染的可能性大。(4)SS工法(SuperSolder)：在基板上印刷Sn粉与有机酸Pb混合后的锡膏，进行回流焊及清洗后形成bump；其优点是不需要印刷精度；Pad间不发生Bridge(连锡)，Bump的高度偏差小；缺点是无法对应多元系焊锡。综合来看，锡膏印刷工法印刷对位精度高、生产效率高、可对应多样化的合金系锡膏；随着封装基板高精度连接的发展趋势，锡膏印刷工法具有更大的发展优势。但是，随着bumppitch(隆起或凸点间距)的减小，bump焊盘间的空隙减小，为了防止印刷时锡膏连桥，钢网的开口也要相应地减小；钢网开口减小以后，为了保证印刷时锡膏有很好的脱模效果，钢网的厚度也要相应地减小，综合起来，这种工艺制作出来的bump的高度随着小pitch化的发展也有减小的趋势。在Bump高度较低的情况下，更容易出现基板与芯片连接不良的问题。因此对小间距的凸点，通过采用新的制作方法以增加bump高度，对减少芯片与基板的连接不良及连接可靠性有重要作用。
技术实现思路
本专利技术所要解决的问题在于提供一种在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法，该方法可以在焊盘的小间距上制备出较高凸点的焊锡球，且芯片与基板之间的连接可靠性好。本专利技术的技术方案如下：一种在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法,包括如下步骤：S1、将第一钢网置于倒装芯片的基板上，进行第一次钢网印刷，将锡膏印置于倒装芯片的基板上；S2、将步骤S1的基板进行第一次回流焊接，在基板上形成焊接点，并在基板表面析出锡膏内的助焊剂；S3、第一次清洗基板，去除助焊剂；S4、将第一次清洗后的基板送入压平机中，对基板上的焊接点进行第一次压平处理，并在每一个焊接点顶端部形成一平坦区；S5、将第二钢网置于经步骤S4平整后得到的基板上，进行第二次钢网印刷，将锡膏印置于基板上的焊接点上；S6、将步骤S5的基板进行第二次回流焊接，在基板上形成新焊接点，并在基板表面再次析出锡膏内的助焊剂；S7、第二次清洗基板，去除助焊剂；S8、将第二次清洗后的基板送入压平机中，对基板上的新焊接点再次进行第二次压平处理，并在每一个焊接点顶端部再次形成一新的平坦区；待上述步骤结束后，得到在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球。上述在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法中，所述第二钢网的涨缩系数比第一钢网的涨缩系数小100.01-100.02％。上述在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法中，所述第二钢网的厚度是第一钢网厚度的2/3。上述在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法中，所述第二钢网的网孔比第一钢网网孔的小10～20μm。本专利技术在现有锡膏印刷工法设备的基础上，通过二次印刷工艺流程，可以在焊盘的小间距之间制作出较高的凸点锡球，且芯片与基板之间的连接可靠性好，而又不需要增加新的设备投资，从而更加全面地对应客户多样化的凸点锡球高度规格要求；利用该工艺，可制作凸点锡球间距约为100～150μm、锡球高度为25-40μm的倒装芯片。附图说明图1为本专利技术的在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备工艺流程图；图2为一实施例中，第一次压平后的焊接点与现有压平后的焊接点的对比效果图。具体实施方式为提高倒装芯片的焊接盘上小间距凸点锡球的高度，如图1所示，本专利技术采用如下制作工艺：第一次锡膏印刷→第一次回流焊→助焊剂清洗→第一次锡球压平→第二次锡膏印刷→第二次回流焊→助焊剂清洗→第二次锡球压平→锡球检查。下面对本专利技术作进一步详细说明。一种在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法,包括如下步骤：S1、首先，选用第一钢网和倒装芯片的基板，且两者的规格尺寸基本相同；其次，将第一钢网置于基板上，进行第一次钢网印刷，将锡膏印置于基板上，且尽量将锡膏的厚度刷厚一点；第一钢网的网孔可以为圆形，根据焊盘设计决定，也可以其他形状，如方形、椭圆形等，孔径规格也视具体情况而定；S2、将步骤S1的基板送入回流焊机中，进行第一次回流焊接，经第一次回流焊接后将在基板上形成球状的焊接点(也可以称为隆起凸点、凸点锡球、焊点、锡球等)，并在基板表面析出锡膏内的助焊剂；S3、进行第一次清洗基板，以便去除基板表面上锡膏析出的助焊剂；S4、将第一次清洗后的基板送入压平机中，对基板上的焊接点进行第一次压平处理，并在每一个焊接点顶端部形成一平坦区，且该平坦区域比一般产品的平坦区大，这样的一个平坦区有利于后续第二次上锡膏并形成良好的凸点锡球，还可降低连锡风险；S5、选用第二钢网，其大小规格与基板基本相同；将第二钢网置于经步骤S4平整后得到的基板上，进行第二次钢网印刷，将锡膏再次印置于基板上的焊接点上；第二钢网的网孔可以为圆形，根据焊盘设计决定，也可以其他形状，如方形、椭圆形等，孔径规格也视具体情况而定；S6、将步骤S5的基板再次送入回流焊机中，进行第二次回流焊接，经第二次回流焊接后将在基板上形成新的焊接点，同时在基板表面再次析出锡膏内的助焊剂；S7、再次清洗基板，以便第二次去除基板表面上锡膏析出的助焊剂；S8、将第二次清洗后的基板再次送入压平机中，对基板上的新焊接点再次进行第二次压平处理，并再次在每一个焊接点顶端部形成一新的平坦区，且第二次压平以后的锡球直径要根据客户的规格来设定，最好对准规格中心值；待上述步骤结束后，得到在高凸点锡球，并对凸点锡球进行检查。上述步骤中，对凸点锡球的检查，使用的是锡膏检查机检查。过程就是将上述焊接有凸点锡球的基板投入锡膏检查机，对凸点锡球逐一检查，检查项目包括锡球高度是否超标、锡球直径是否超标、锡球形状是否异常等。下面再结本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、将第一钢网置于倒装芯片的基板上，进行第一次钢网印刷，将锡膏印置于倒装芯片的基板上；S2、将步骤S1的基板进行第一回流焊接，在基板上形成焊接点，并在基板表面析出锡膏内的助焊剂；S3、第一次清洗基板，去除助焊剂；S4、将第一清洗后的基板送入压平机中，对基板上的焊接点进行第一次压平处理，并在每一个焊接点顶端部形成一平坦区；S5、将第二钢网置于经步骤S4平整后得到的基板上，进行第二次钢网印刷，将锡膏印置于基板上的焊接点上；S6、将步骤S5的基板进行第二次回流焊接，在基板上形成新焊接点，并在基板表面再次析出锡膏内的助焊剂；S7、第二次清洗基板，去除助焊剂；S8、将第二次清洗后的基板再次送入压平机中，对基板上的新焊接点再次进行第二次压平处理，并在每一个焊接点顶端部再次形成一新的平坦区；待上述步骤结束后，得到所述高凸点锡球。

【技术特征摘要】
1.一种在倒装芯片基板上小间距之间制备高凸点锡球的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、将第一钢网置于倒装芯片的基板上，进行第一次钢网印刷，将锡膏印置于倒装芯片的基板上；S2、将步骤S1的基板进行第一次回流焊接，在基板上形成焊接点，并在基板表面析出锡膏内的助焊剂；S3、第一次清洗基板，去除助焊剂；S4、将第一次清洗后的基板送入压平机中，对基板上的焊接点进行第一次压平处理，并在每一个焊接点顶端部形成一平坦区；S5、将第二钢网置于经步骤S4平整后得到的基板上，进行第二次钢网印刷，将锡膏印置于基板上的焊接点上；S6、将步骤S5的基板进行第...

【专利技术属性】
技术研发人员：庭玉文，李志东，邱醒亚，
申请(专利权)人：广州兴森快捷电路科技有限公司，宜兴硅谷电子科技有限公司，深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44