单层基板封装工艺制造技术

本发明专利技术涉及一种单层基板封装工艺，包括在压合铜箔的上表面形成焊盘，使得焊盘下表面与压合铜箔的上表面紧密接合；将压合铜箔蚀刻露出铜柱，使得焊盘下表面完全外露；在焊盘下表面的边缘和铜柱的至少一部分形成绿油层。采用本发明专利技术的单层基板封装工艺，增加了焊盘在受到锡球传递来的拉力或推力时的阻力，可有效地防止焊盘脱落。

【技术实现步骤摘要】
单层基板封装工艺
本专利技术涉及一种半导体生产中的封装工艺，特别是一种单层基板封装工艺。
技术介绍
传统的单层基板制造过程中，如图1所示，焊盘1直接电镀在铜箔2上，然后在焊盘1周围压合玻璃纤维3。这种结构，焊盘1底部在封装蚀刻工艺(腐蚀掉铜箔层)之后，会全部露出，只有焊盘1两侧的铜柱与玻璃纤维3结合。当焊盘1受到外力撞击时，焊盘1极容易连带着锡球7脱落(如图2、图3所示)。
技术实现思路
在下文中给出关于本专利技术的简要概述，以便提供关于本专利技术的某些方面的基本理解。应当理解，这个概述并不是关于本专利技术的穷举性概述。它并不是意图确定本专利技术的关键或重要部分，也不是意图限定本专利技术的范围。其目的仅仅是以简化的形式给出某些概念，以此作为稍后论述的更详细描述的前序。本专利技术的一个主要目的在于提供一种单层基板封装工艺，可以至少一定程度上避免锡球脱落时，焊盘随之脱落的情况发生。根据本专利技术的一方面，一种单层基板封装工艺，包括：在压合铜箔的上表面形成焊盘，使得所述焊盘下表面与所述压合铜箔的上表面紧密接合；将所述压合铜箔蚀刻露出铜柱，使得焊盘下表面完全外露；在所述焊盘下表面的边缘和所述铜柱的至少一部分形成绿油层。采用本专利技术的单层基板封装工艺，增加了焊盘在受到锡球传递来的拉力或推力时的阻力，可有效地防止焊盘脱落。附图说明参照下面结合附图对本专利技术实施例的说明，会更加容易地理解本专利技术的以上和其它目的、特点和优点。附图中的部件只是为了示出本专利技术的原理。在附图中，相同的或类似的技术特征或部件将采用相同或类似的附图标记来表示。图1为现有的单层基板封装结构的示意图；图2、图3为现有的单层基板封装结构焊盘脱落过程的示意图；图4为本专利技术的单层基板封装工艺的一种实施方式的流程图；图5为采用本专利技术的单层基板封装工艺制造的单层基板封装结构的示意图。具体实施方式下面参照附图来说明本专利技术的实施例。在本专利技术的一个附图或一种实施方式中描述的元素和特征可以与一个或更多个其它附图或实施方式中示出的元素和特征相结合。应当注意，为了清楚的目的，附图和说明中省略了与本专利技术无关的、本领域普通技术人员已知的部件和处理的表示和描述。图4为本专利技术的单层基板封装工艺的一种实施方式的流程图，图5为采用本专利技术的单层基板封装工艺制造的单层基板封装结构的示意图。以下结合图4、图5进行详细描述。在本实施方式中，单层基板封装工艺包括：S10:在压合铜箔2’的上表面形成焊盘1，使得焊盘1下表面与压合铜箔2的上表面紧密接合；例如，可以在压合铜箔2’的上表面采用电镀或压合的方式形成焊盘1。S20:将压合铜箔2’蚀刻露出铜柱，使得焊盘1下表面完全外露；S30:在焊盘1下表面的边缘和铜柱的至少一部分形成绿油层4。由于绿油层4可以卡住焊盘1下表面，从而使得焊盘1与铜柱的相对位置固定，进而对焊盘1起到承托的作用。优选地，单层基板封装工艺还可以包括：S40:在与焊盘1下表面相对的焊盘1上表面周围压合玻璃纤维3。作为一种实施方式，在步骤S30之后还可以包括：S50:在焊盘1下表面植入锡球(图中未示出)。作为一种实施方式，可以采用电镀的方式将绿油层4形成在焊盘下表面和铜柱的至少一部分。作为一种实施方式，单层基板封装工艺还可以包括：S60:在焊盘1上设置用于与外部装置连接的连接部5。例如，可以在焊盘上开设用于与芯片6连接的通孔。参见图5，为采用本专利技术的单层基板封装工艺制作的单层基板封装结构的一种实施方式的结构图。在本实施方式中，单层基板封装结构包括焊盘1、铜柱(图中未示出)和绿油层4。绿油层4涂覆在焊盘1的下表面和铜柱的至少一部分表面上，用于使焊盘1与铜柱的相对位置固定。在一种实施方式中，铜柱可由压合铜箔(参见图1中的2’)蚀刻形成。焊盘1形成于压合铜箔2’的上表面，且焊盘1的下表面与压合铜箔2’的上表面紧密接合。铜柱为蚀刻压合铜箔2’使得焊盘1下表面完全外露之后的剩余部分。在一种实施方式中，本专利技术的单层基板封装结构还可以包括玻璃纤维3。玻璃纤维3压合于与焊盘下表面相对的焊盘上表面周围。本专利技术的单层基板封装结构还包括锡球，其可焊接于焊盘1的下表面。优选地，焊盘1上还可设置有用于与外部装置6连接的连接部5。在一种实施方式中，该连接部5可以是通孔。采用本专利技术的单层基板封装工艺，增加了焊盘在受到锡球传递来的拉力或推力时的阻力，可有效地防止焊盘脱落。上面对本专利技术的一些实施方式进行了详细的描述。如本领域的普通技术人员所能理解的，本专利技术的方法和装置的全部或者任何步骤或者部件，可以在任何计算设备(包括处理器、存储介质等)或者计算设备的网络中，以硬件、固件、软件或者它们的组合加以实现，这是本领域普通技术人员在了解本专利技术的内容的情况下运用他们的基本编程技能就能实现的，因此不需在此具体说明。在本专利技术的设备和方法中，显然，各部件或各步骤是可以分解、组合和/或分解后重新组合的。这些分解和/或重新组合应视为本专利技术的等效方案。还需要指出的是，执行上述系列处理的步骤可以自然地按照说明的顺序按时间顺序执行，但是并不需要一定按照时间顺序执行。某些步骤可以并行或彼此独立地执行。同时，在上面对本专利技术具体实施例的描述中，针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、要素、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、要素、步骤或组件的存在或附加。虽然已经详细说明了本专利技术及其优点，但是应当理解在不超出由所附的权利要求所限定的本专利技术的精神和范围的情况下可以进行各种改变、替代和变换。而且，本申请的范围不仅限于说明书所描述的过程、设备、手段、方法和步骤的具体实施例。本领域内的普通技术人员从本专利技术的公开内容将容易理解，根据本专利技术可以使用执行与在此所述的相应实施例基本相同的功能或者获得与其基本相同的结果的、现有和将来要被开发的过程、设备、手段、方法或者步骤。因此，所附的权利要求旨在在它们的范围内包括这样的过程、设备、手段、方法或者步骤。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单层基板封装工艺，其特征在于，包括：在压合铜箔的上表面形成焊盘，使得所述焊盘下表面与所述压合铜箔的上表面紧密接合；将所述压合铜箔蚀刻露出铜柱，使得焊盘下表面完全外露；在所述焊盘下表面的边缘和所述铜柱的至少一部分形成绿油层。

【技术特征摘要】
1.一种单层基板封装工艺，其特征在于，包括：在压合铜箔的上表面形成焊盘，使得所述焊盘下表面与所述压合铜箔的上表面紧密接合；将所述压合铜箔蚀刻露出铜柱，使得焊盘下表面完全外露；在所述焊盘下表面的边缘和所述铜柱的至少一部分形成绿油层，具体包括：在所述焊盘下表面的边缘和所述铜柱的至少一部分电镀形成绿油层；在所述焊盘上设置用于与外部装置连接的连接部，所述连接部为通孔。2.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄超，王洪辉，
申请(专利权)人：南通富士通微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32