一种基板装夹机构制造技术

本发明专利技术提供一种基板装夹机构，包括底座、气缸、直线轴承、固定架和顶板，气缸和直线轴承组件的下部法兰固定在底座上，气缸和直线轴承的上部法兰固定到固定架的下底面，气缸和直线轴承的输出端穿过固定架固定到顶板的底面；固定架具有矩形形状且在其三条边上具有侧壁，另一条没有侧壁的边作为送料入口，其互相垂直的两个侧壁上安装有上压板；顶板具有与固定架相同的矩形形状，其在与上压板对应的侧壁上设置有支撑台。通过顶板与上压板距离的调整实现不同厚度基板的装夹；通过动顶片和动压板的滑动实现不同尺寸基板的装夹；通过设置格网和抽屉实现对切割样品的缓冲收集；通过设置吸尘装置实现对激光切割产生粉尘的抽吸并对基板进行冷却。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种工装夹具，尤其是一种用于激光切割机的基板装夹机构。
技术介绍
近年来，随着半导体技术和精密加工技术的不断发展，对于各种基板的需求日益增多，而激光切割以其精度高、质量好、效率高的特点被广泛应用于陶瓷、玻璃、PCB等基板的加工。相应地，基板夹具也需要适应激光切割高能高效的要求。CN202585495U公开了一种玻璃基板装夹机构，其根据玻璃基板的形状适配样品架，样品架由上横梁、下横梁、左侧壁和右侧壁组成，在样品架上设置有若干旋转铰链部件和压紧块用于将玻璃基板压紧到样品架上，通过调节铰链角度和压紧块，进而实现对基板夹持松紧程度的调整。但是，由于样品架为刚性框架结构，不能适应不同尺寸基板的装夹要求。用于夹紧基板的铰链部件通过旋转角度调整可以适应小范围内不同厚度基板，然而由于铰链结构限制，还是难以满足厚度差别较大的基板装夹要求。类似地，目前市场上现有的激光切割机基板夹具大多只满足几种典型规格基板，工作过程中需要频繁的手动更换或调节夹具，灵活性不好，适应性差，工作效率低。此外，基板激光切割中会产生大量热量，例如0)2的激光在100W以上大功率切割时，由于过热易导致切割槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于激光切割机的基板装夹机构，包括底座、气缸、直线轴承、固定架和顶板，其中，所述气缸（3）和直线轴承组件（2）的下部法兰固定在底座上，所述气缸（3）和直线轴承的上部法兰固定到固定架（9）的下底面，所述气缸（3）和直线轴承（2）的输出端穿过固定架固定到顶板（5）的底面；所述固定架具有矩形形状且在其三条边上具有侧壁，另一条没有侧壁的边作为送料入口，其互相垂直的两个侧壁上安装有上压板（12）；所述顶板（5）具有与固定架（9）相同的矩形形状，其在与上压板（12）对应的侧壁上设置有支撑台（7）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：高爱梅，张孝其，黄卫国，韩微微，雒晓文，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11