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本发明提供一种基板装夹机构，包括底座、气缸、直线轴承、固定架和顶板，气缸和直线轴承组件的下部法兰固定在底座上，气缸和直线轴承的上部法兰固定到固定架的下底面，气缸和直线轴承的输出端穿过固定架固定到顶板的底面；固定架具有矩形形状且在其三条边上具...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十五研究所授权不得商用。

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