芯片测试系统及芯片测试方法技术方案

本发明专利技术提供了一种芯片测试系统及芯片测试方法，其中，所述芯片测试系统包括：测试机、晶振及信号分析系统，所述测试机及晶振均与所述信号分析系统连接；所述测试机用以提供测试信号；所述晶振用以提供时钟信号；所述信号分析系统用以获取测试机输出测试信号的信号输出时间；其中，所述测试机根据信号输出时间输出测试信号。在此，通过信号分析系统获取测试机输出测试信号的信号输出时间，测试机据此输出测试信号，由此测试机便能够选择输出测试信号的时刻，进而实现与时钟信号同步，从而得到可靠/准确的芯片测试结果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成电路制造
，特别涉及一种。
技术介绍
由于日益复杂的集成电路、材料和工艺的迅速引入，在今天的硅片制造中几乎不可能每个芯片都符合规格要求。为纠正制作过程中的问题，并确保有缺陷的芯片不会被送到客户手里，在集成电路制造过程中引入了芯片测试(CP，Circuit Probing)。芯片测试是为了检验规格的一致性而在硅片级集成电路上进行的电学参数测量和功能测试。测试可以检验出各芯片是否具有可接受的电学性能和完整的功能，其测试过程中使用的电学规格随测试目的的不同而有所不同。如果芯片测试不完善，就可能造成更多的产品在客户使用过程中失效，最终给芯片制造者带来严重的后果。为此在集成电路的制造过程中引入能够及早发现工艺问题和将不良的芯片挑选出来的芯片测试是必不可少的。芯片测试系统通常包括测试机(Automatic Test Equipment, ATE),测试机是能够在待测器件上快速、准确、重复地测量亚微安级电流和毫伏级电压的自动装置。具体的，测试机将测试信号(在本申请文件中指除了时钟信号以外的用以测试的信号)输入到待测器件(DUT，Device Under Test)内，然后再接收该待测器件对于输入信号的相应结果。在进行芯片测试时，往往还需要用到晶振以产生测试所需的时钟信号。例如，在某些芯片的测试中对于时钟信号的要求比较特殊，如19.44MHz的时钟，是没有办法通过测试机给予，因此需要使用外接晶振来对待测器件提供时钟信号。由于时钟信号和测试信号由不同的器件产生/提供(其中时钟信号由晶振提供，测试信号由测试机提供)，因此这两者之间往往会不同步，进而使得所得到的芯片测试结果不准确/不可靠。因此，提供一种芯片测试系统，其能够实现输出的时钟信号和测试信号同步，从而得到准确/可靠的芯片测试结果，成了本领域技术人员亟待解决的难题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种，以解决现有的芯片测试系统中，时钟信号和测试信号之间往往不同步，进而使得所得到的芯片测试结果不准确/不可靠的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种芯片测试系统，所述芯片测试系统包括:测试机、晶振及信号分析系统，所述测试机及晶振均与所述信号分析系统连接；所述测试机用以提供测试信号；所述晶振用以提供时钟信号；所述信号分析系统用以获取测试机输出测试信号的信号输出时间；其中，所述测试机根据信号输出时间输出测试信号。可选的，在所述的芯片测试系统中，所述信号输出时间根据时钟信号的起振时间以及测试信号的输出用时来确定。可选的，在所述的芯片测试系统中，所述信号输出时间根据时钟信号的起振时间、高低电平的跳转时刻以及测试信号的输出用时来确定。可选的，在所述的芯片测试系统中，当所述晶振每输出一次时钟信号时，所述信号分析系统便获取与该次时钟信号相对应的测试机输出测试信号的信号输出时间。可选的，在所述的芯片测试系统中，所述测试机提供的测试信号包括电压信号和/或电流信号。可选的，在所述的芯片测试系统中，所述晶振提供的时钟信号包括方波信号。可选的，在所述的芯片测试系统中，还包括:与所述测试机连接的探针卡，及与所述探针卡连接的探针台。本专利技术还提供一种芯片测试方法，所述芯片测试方法包括:晶振输出时钟信号，测试机输出测试信号；信号分析系统接收所述时钟信号及测试信号，并获取测试机输出测试信号的信号输出时间；测试机根据信号输出时间再次输出测试信号。可选的，在所述的芯片测试方法中，所述信号输出时间根据时钟信号的起振时间以及测试信号的输出用时来确定。可选的，在所述的芯片测试方法中，所述信号输出时间根据时钟信号的起振时间、高低电平的跳转时刻以及测试信号的输出用时来确定。可选的，在所述的芯片测试方法中，当所述晶振每输出一次时钟信号时，所述信号分析系统便获取与该次时钟信号相对应的测试机输出测试信号的信号输出时间。可选的，在所述的芯片测试方法中，所述测试机提供的测试信号包括电压信号和/或电流信号。可选的，在所述的芯片测试方法中，所述晶振提供的时钟信号包括方波信号。在本专利技术提供的中，通过信号分析系统获取测试机输出测试信号的信号输出时间，测试机据此输出测试信号，由此测试机便能够选择输出测试信号的时刻，进而实现与时钟信号同步，从而得到可靠/准确的芯片测试结果。【附图说明】图1是本专利技术实施例的芯片测试系统的框结构示意图；图2是本专利技术实施例的时钟信号的示意图；图3是本专利技术实施例的芯片测试方法的流程示意图。【具体实施方式】以下结合附图和具体实施例对本专利技术提出的作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。请参考图1，其为本专利技术实施例的芯片测试系统的框结构示意图。如图1所示，所述芯片测试系统包括:测试机10、晶振20及信号分析系统30，所述测试机10及晶振20均与所述信号分析系统30连接；所述测试机10用以提供测试信号；所述晶振20用以提供时钟信号；所述信号分析系统30用以获取测试机输出测试信号的信号输出时间；其中，所述测试机10根据信号输出时间输出测试信号。请参考图2，其为本专利技术实施例的时钟信号的示意图。如图2所示，所述时钟信号包括Tl和T2两段时间，其中，时间段Tl内，所述时钟信号处于不稳定状态，也即起振状态，通常称为起振时间；时间段T2内，所述时钟信号处于稳定状态，通常称为稳定时间。在本实施例中，所述信号分析系统30所获取的信号输出时间根据时钟信号的起振时间以及测试信号的输出用时来确定。具体的，根据时间段Tl的长度以及所述测试机10输出测试信号所用的时间来确定，即得到两个时间之间的差异。由此，当所述测试机10再次输出测试信号时，便能够避免这两个时间之间的差异，从而实现与时钟信号同步。进一步的，所述信号分析系统30所获取的信号输出时间根据时钟信号的起振时间、高低电平的跳转时刻以及测试信号的输出用时来确定。具体的，根据时间段Tl的长度、时间段T2内高低电平的跳转时刻以及所述测试机10输出测试信号所用的时间来确定。由此不仅能够得到两个时间之间的差异，并能够得到时钟信号内的高低电平的跳转时间点，从而当所述测试机10再次输出测试信号时，能够选择是在时间段T2内的高电平时刻还是低电平时刻或者高低电平跳转时刻，进而使得所述测试机10输出的测试信号与所述晶振20所输出的时钟信号很好的配合，提高芯片测试的精度与可靠性。在本实施例中，所述信号分析系统30可包括捕捉信号的信号分析仪以及计算、分析信号的计算器，即首先通过信号分析仪捕捉测试机10和晶振20输出的信号；接着通过计算器计算时钟信号与测试信号之间的差异等，从而最终得到信号输出时间等信息。通常的，晶振20每次输出时钟信号时，起振时间Tl以及高低电平跳转时刻是不相同的。因此，优选的，在使用所述芯片测试系统时，当所述晶振20每输出一次时钟信号时，所述信号分析系统30便获取与该次时钟信号相对应的测试机输出测试信号的信号输出时间。由此，使得所述测试机10每次所获得的信号输出时间是正确/可靠的，进而使得所述测试机10所输出的测试信号与所述晶振20所输出的时钟信号同步，提高芯片测试结果。在本实施例中，所述测试机10提供的测试信本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种芯片测试系统，其特征在于，包括：测试机、晶振及信号分析系统，所述测试机及晶振均与所述信号分析系统连接；所述测试机用以提供测试信号；所述晶振用以提供时钟信号；所述信号分析系统用以获取测试机输出测试信号的信号输出时间；其中，所述测试机根据信号输出时间输出测试信号。

【技术特征摘要】
1.一种芯片测试系统，其特征在于，包括:测试机、晶振及信号分析系统，所述测试机及晶振均与所述信号分析系统连接；所述测试机用以提供测试信号；所述晶振用以提供时钟信号；所述信号分析系统用以获取测试机输出测试信号的信号输出时间；其中，所述测试机根据信号输出时间输出测试信号。2.如权利要求1所述的芯片测试系统，其特征在于，所述信号输出时间根据时钟信号的起振时间以及测试信号的输出用时来确定。3.如权利要求1所述的芯片测试系统，其特征在于，所述信号输出时间根据时钟信号的起振时间、高低电平的跳转时刻以及测试信号的输出用时来确定。4.如权利要求1所述的芯片测试系统，其特征在于，当所述晶振每输出一次时钟信号时，所述信号分析系统便获取与该次时钟信号相对应的测试机输出测试信号的信号输出时间。5.如权利要求1?4中任一项所述的芯片测试系统，其特征在于，所述测试机提供的测试信号包括电压信号和/或电流信号。6.如权利要求1?4中任一项所述的芯片测试系统，其特征在于，所述晶振提供的时钟信号包括方波信号。7.如权利要求1?4中任一项所述的芯片...

【专利技术属性】
技术研发人员：张大成，施瑾，刘远华，顾春华，郝丹丹，
申请(专利权)人：上海华岭集成电路技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：