一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板技术

技术编号:9172311 阅读:100 留言:0更新日期:2013-09-19 21:50
本发明专利技术提供了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板,涉及显示技术领域,可减小薄膜晶体管的沟道长度;该薄膜晶体管包括设置在衬底基板上的栅极、栅绝缘层、有源层、源极、以及漏极;其中,沿垂直所述衬底基板的方向,所述源极和所述漏极分别设置在所述有源层两侧,且所述源极和所述漏极与所述有源层接触。用于显示器的制造。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种薄膜晶体管,包括设置在衬底基板上的栅极、栅绝缘层、有源层、源极、以及漏极;其特征在于,沿垂直所述衬底基板的方向,所述源极和所述漏极分别设置在所述有源层两侧,且所述源极和所述漏极与所述有源层接触。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张文余田宗民李婧
申请(专利权)人:北京京东方光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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