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本发明提供了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板,涉及显示技术领域,可减小薄膜晶体管的沟道长度;该薄膜晶体管包括设置在衬底基板上的栅极、栅绝缘层、有源层、源极、以及漏极;其中,沿垂直所述衬底基板的方向,所述源极和所述漏极分别设置在所述有源层...该专利属于北京京东方光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京京东方光电科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板,涉及显示技术领域,可减小薄膜晶体管的沟道长度;该薄膜晶体管包括设置在衬底基板上的栅极、栅绝缘层、有源层、源极、以及漏极;其中,沿垂直所述衬底基板的方向,所述源极和所述漏极分别设置在所述有源层...