光子筛及其制作方法技术

本发明专利技术实施例公开了一种光子筛及其制作方法。所述光子筛包括：透光衬底；位于所述透光衬底上的不透光多层膜，所述不透光多层膜包括多层相间设置的金属膜和介质膜；设置在所述不透光多层膜上、呈多个环带状分布的多个小孔，每一环带上的多个小孔随机分布且彼此不重叠。本发明专利技术所提供的光子筛由于在透光衬底上设置有多层相间排列的金属膜和介质膜，且在所述多层相间排列的金属膜和介质膜内设置有呈环带状分布的多个小孔，因此，当光照射在所述光子筛上时，在金属膜和介质膜的表面等离子体极化和表面等离子体耦合将得到增强，从而有效地提高了光的透过率，进而提高了光子筛的衍射效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及衍射光学元件
，更具体地说，涉及一种。技术背景光子筛是基于菲涅耳波带片的一种新型的衍射光学元件，它将菲涅耳波带片上亮环对应的区域用大量随机分布的透光小孔来代替，小孔的直径为相应波带片环带宽度的1. 5倍。光子筛突破了波带片的分辨率限制，得到的聚焦光斑比同样特征尺寸的波带片聚焦光斑更小，而且有效的抑制了聚焦光斑的旁瓣，减小了背景光从而提高了分辨率。光子筛与波带片相比制作简单、性能优越，在软X射线、极紫外光线的聚焦和成像上具有很好的应用，可用于高分辨率显微术、光谱学和下一代光刻等研究领域。虽然如此，但目前普通的光子筛存在的主要问题就是衍射效率低，因此在其实际应用中就有了很大的限制。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种，以解决现有的光子筛衍射效率低的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案一种光子筛，所述光子筛包括透光衬底；位于所述透光衬底上的不透光多层膜，所述不透光多层膜包括多层相间设置的金属膜和介质膜； 设置在所述不透光多层膜上、呈多个环带状分布的多个小孔，每一环带上的多个小孔随机分布且彼此不重叠。优选的，上述光子筛中，所述环带中心半径为rm2 =本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光子筛，其特征在于，包括：透光衬底；位于所述透光衬底上的不透光多层膜，所述不透光多层膜包括多层相间设置的金属膜和介质膜；设置在所述不透光多层膜上、呈多个环带状分布的多个小孔，每一环带上的多个小孔随机分布且彼此不重叠。

【技术特征摘要】
1.一种光子筛，其特征在于，包括 透光衬底； 位于所述透光衬底上的不透光多层膜，所述不透光多层膜包括多层相间设置的金属膜和介质膜； 设置在所述不透光多层膜上、呈多个环带状分布的多个小孔，每一环带上的多个小孔随机分布且彼此不重叠。2.根据权利要求1所述的光子筛，其特征在于，所述环带中心半径为rm2=2mfA+m2 λ 2 ;其中，m为正整数，f为焦距，λ为波长。3.根据权利要求2所述的光子筛，其特征在于，每一环带上的多个小孔的直径均相同，且为(Ini = λ Ar111，其中λ为波长。4.根据权利要求1所述的光子筛，其特征在于，所述金属膜和介质膜均为五层。5.根据权利要求4所述的光子筛，其特征在于，每层金属膜和介质膜的厚度均为30nm。6.根据权利要求1所述的光子筛，其特征在于，所述金属膜材料为银。7.根据权利要求1所述的光子筛，其特征在于，所述介质膜材料为二氧化硅、三氧化二铝、二氧化铪或二氧化锆。8.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：李海亮，史丽娜，朱效立，李冬梅，谢常青，刘明，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：