用于在基板上连续沉积薄膜层的系统的密封配置技术方案

本申请涉及用于在基板上连续沉积薄膜层的系统的密封配置。提供用于将升华源材料气相沉积为离散光伏模块基板上的薄膜的设备(60)和相关操作方法，基板以连续不停方式输送经过设备。该设备包括配置成接纳源材料且使之升华的沉积头(62)。沉积头具有分配板(88)，其处于经过该设备内的沉积区(112)输送的基板的上表面的水平输送平面(117)上方限定距离处。升华源材料移动经过分配板且在基板输送经过沉积区时沉积到基板上表面上。基板通过由横向延伸的入口和出口密封(96)限定的入口槽(120)和出口槽(122)移动进出沉积区。该密封安置于基板上表面上方的间隙距离(113)处，该距离小于在基板的上表面与分配板之间的距离或间距。该密封具有约10∶1至约100∶1的纵向长度与间隙距离之间的比例。

【技术实现步骤摘要】

本文所公开的主题大体而言涉及薄膜沉积系统的领域，其中诸如半导体材料层的薄膜层沉积到基板上。更特定而言，所公开的主题涉及用于在形成光伏(PV)模块中将光反应性材料的薄膜层沉积到玻璃基板上的系统。
技术介绍
薄膜光伏(PV)模块(也被称作“太阳能电池板”或“太阳能模块”)基于与硫化镉(CdS)配对的碲化镉(CdTe)作为光反应性部件，其在工业中被广泛地接受和关注。CdTe 是一种半导体材料，其特征特别适合于将太阳能(阳光)转变成电。举例而言，CdTe具有 1.45eV的能量能带隙，与在过去用于太阳能电池应用的较低能带隙(IeV)的半导体材料相比，其能转变更多的来自太阳光谱的能量。而且，与较低能带隙材料相比，CdTe在较低或漫射光条件下更高效地转变能量，且因此与其它常规材料相比，在一天中或在低光(即，多云)条件下具有更长的有效转变时间使用CdTe PV模块的太阳能系统被普遍认为在所生成的每瓦功率成本方面是可购买到的系统中最具成本效益的。但尽管CdTe具有这些优点，持久的商业开发和接受太阳能作为工业或住宅电力的补充或主要来源取决于大规模且以成本效益方式生产有效PV模块的能力。用于在PV模块本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于将升华的源材料气相沉积为在离散的光伏（ＰＶ）模块基板（１４）上的薄膜的设备（６０），所述光伏模块基板（１４）以连续不停方式输送经过所述设备，所述设备包括：沉积头（６２），其被配置成用于接纳源材料且使所述源材料升华；所述沉积头还包括分配板（８８），所述分配板（８８）在经过所述设备的沉积区（１１２）输送的基板的上表面的水平输送平面（１１７）上方的限定距离处，所述升华的源材料移动经过所述分配板且沉积到经过所述沉积区输送的所述基板的上表面上；以及横向延伸的入口密封和出口密封（９６），所述密封限定用于经过所述设备输送的基板的入口槽（１２０）和出口槽（１２２），所述密封中的至少一个安置于所述基...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：R·W·布莱克，S·D·费尔德曼皮博迪，M·J·帕沃尔，M·W·里德，
申请(专利权)人：初星太阳能公司，
类型：发明
国别省市：US