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本申请涉及用于在基板上连续沉积薄膜层的系统的密封配置。提供用于将升华源材料气相沉积为离散光伏模块基板上的薄膜的设备(60)和相关操作方法，基板以连续不停方式输送经过设备。该设备包括配置成接纳源材料且使之升华的沉积头(62)。沉积头具有分配板...
该专利属于初星太阳能公司所有，仅供学习研究参考，未经过初星太阳能公司授权不得商用。

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