一种应用于薄膜沉积设备中的动密封顶升结构制造技术

本发明专利技术属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域，具体涉及一种应用于薄膜沉积设备中的动密封顶升结构，包括固定装置和驱动装置，固定装置包括直线轴承座和连接基座，直线轴承座与反应腔体固定连接，驱动装置包括支撑导杆、支撑导杆连接件和驱动部件，支撑导杆插入直线轴承座内，驱动部件与连接基座进行连接，连接基座与直线轴承座进行连接，支撑导杆与支撑导杆连接件进行连接，将动密封胶圈安装在直线轴承座的胶圈槽内，密封胶圈安装在直线轴承基座的胶圈槽内。本发明专利技术采用简易的密封结构，利用动密封形式，解决动作连杆运动时的密封要求，简化了自身结构，使整个机构的装配变得简便，易于设备的维护。

Dynamic sealing lifting structure applied in thin film deposition equipment

The invention belongs to the technical field of semiconductor thin film deposition application and preparation, in particular relates to a thin film deposition apparatus used in the dynamic seal lifting structure comprises a fixing device and a driving device, the fixing device comprises a linear bearing seat and a connecting base, a linear bearing seat and a reaction cavity body is fixedly connected with the driving device, which comprises a supporting rod, support rod connecting piece and a driving part, a supporting guide rod is inserted into the linear bearing seat, driving parts are connected with the connecting base, the connecting base is connected with a linear bearing seat, supporting the guide rod and the guide rod supporting connecting piece for connecting, the dynamic seal ring is installed in the ring groove linear bearing seat in the sealing ring installed in the rubber ring grooves of linear bearing base in. The invention adopts a simple sealing structure, and solves the sealing requirement of the movement of the connecting rod in the form of a dynamic seal, simplifies the structure of the utility model, simplifies the assembly of the whole mechanism, and is convenient for the maintenance of the equipment.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体薄膜沉积应用及制备
，具体涉及一种应用于薄膜沉积设备中的动密封顶升结构。
技术介绍
在半导体薄膜的制备中，反应腔体内部会有一些功能性运动部件，这些部件的驱动在腔体之外，通过升降装置带动其进行动作。在以往的腔内运动部件设计中，常常为了保证运动处的密封性而使得设计变得复杂，装配难度上升，维护困难。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术提供了一种应用于薄膜沉积设备中的动密封顶升结构，采用简易的密封结构，利用动密封形式，解决动作连杆运动时的密封要求，简化了自身结构，使整个机构的装配变得简便，易于设备的维护。本专利技术是这样实现的，一种应用于薄膜沉积设备中的动密封顶升结构，其特征在于，动密封顶升结构包括固定装置和驱动装置，固定装置包括直线轴承座和连接基座，直线轴承座与反应腔体固定连接，驱动装置包括支撑导杆、支撑导杆连接件和驱动部件，支撑导杆插入直线轴承座内，驱动部件与连接基座进行连接，连接基座与直线轴承座进行连接，支撑导杆与支撑导杆连接件进行连接；将动密封胶圈安装在直线轴承座的胶圈槽内，密封胶圈安装在直线轴承基座的胶圈槽内。进一步地，驱动部件运动时，支撑导杆连接件带动支撑导杆进行升降的周期性运动。与现有技术相比，本专利技术的优点在于，采用简易的密封结构，利用动密封形式，解决动作连杆运动时的密封要求，简化了自身结构，使整个机构的装配变得简便，易于设备的维护。附图说明下面结合附图及实施方式对本专利技术作进一步详细的说明：图1为本专利技术提供的动密封顶升结构剖面示意图；图2为本专利技术提供的动密封顶升结构主视图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。参考图1和图2，本专利技术提供了一种应用于薄膜沉积设备中的动密封顶升结构，所述动密封顶升结构包括固定装置和驱动装置，固定装置包括直线轴承座3和连接基座4，直线轴承座3与反应腔体1固定连接，驱动装置包括支撑导杆2、支撑导杆连接件5和驱动部件6，支撑导杆2插入直线轴承座3内，驱动部件6与连接基座4进行连接，连接基座4与直线轴承座3进行连接，支撑导杆2与支撑导杆连接件5进行连接；将动密封胶圈8安装在直线轴承座3的胶圈槽内，密封胶圈7安装在直线轴承座3的胶圈槽内。当反应腔体内部进行薄膜沉积反应时，驱动部件运动，从而驱动支撑导杆连接件带动支撑导杆进行升降的周期性运动，满足腔体内的运动需求。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种应用于薄膜沉积设备中的动密封顶升结构，其特征在于，所述动密封顶升结构包括固定装置和驱动装置，所述固定装置包括直线轴承座和连接基座，直线轴承座与反应腔体固定连接，所述驱动装置包括支撑导杆、支撑导杆连接件和驱动部件，所述支撑导杆插入直线轴承座内，所述驱动部件与所述连接基座进行连接，连接基座与所述直线轴承座进行连接，所述支撑导杆与支撑导杆连接件进行连接；将动密封胶圈安装在直线轴承座的胶圈槽内，密封胶圈安装在直线轴承基座的胶圈槽内。

【技术特征摘要】
1.一种应用于薄膜沉积设备中的动密封顶升结构，其特征在于，所述动密封顶升结构包括固定装置和驱动装置，所述固定装置包括直线轴承座和连接基座，直线轴承座与反应腔体固定连接，所述驱动装置包括支撑导杆、支撑导杆连接件和驱动部件，所述支撑导杆插入直线轴承座内，所述驱动部件与所述连接基座进行连接，连接基...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜巍，关帅，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21