具有隔热件的蒸镀源载具制造技术

本实用新型专利技术是有关于一种具有隔热件的蒸镀源载具，其包括：载具；以及隔热件。其中，载具具有界定内部空间体积的侧边及底边，而隔热件设置于载具内并设于底边上。在蒸镀过程中，蒸镀材则摆放于载具内并位于隔热件上，透过隔热件的设置，可有效阻绝蒸镀材的热能因热传导而散失，以稳定蒸镀材的蒸镀温度，并达到稳定蒸镀速率的目的。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种蒸镀源载具，特别是涉及一种可维持蒸镀材温度的具有隔热件的蒸镀源载具。
技术介绍
真空蒸镀是将被镀物置于真空环境下，并透过加热蒸镀材使其气化或升华，进而使气态的蒸镀材可沉积于被镀物表面，而达到于被镀物表面形成薄膜的目的。其中，蒸镀材本身的温度是决定蒸镀材气化速率的关键，并且也是影响蒸镀速率的重要参数之一。也就是当蒸镀材本身的温度越高，蒸镀材的气化速率也会相对提升，并加速整体的蒸镀速率。然而，蒸镀材温度过高却可能导致蒸镀速率过快，而使薄膜沉积的厚度不均。反之，蒸镀材温度过低，也可能使蒸镀速率过慢以致于蒸镀效果不佳。再者，真空蒸镀技术中的电子式蒸镀是利用电子束中的高能电子撞击蒸镀材，使蒸镀材气化分解进而扩散至被镀物表面。并且，为了能够进一步调控蒸镀速率，因此可再额外控制蒸镀材本身的温度，以调整蒸镀材的气化速率。图1是现有习知技术中真空蒸镀装置100结构的示意图。如图1所示，现有习知技术的真空蒸镀装置100包括可提供真空环境的一真空腔11，在真空腔11内部摆设有用以放置被镀物12的镀盘13以及用以摆放蒸镀材14的坩锅15。坩锅15四周又设置有多个发射源16，可用以发射电子束以加热蒸镀材14使之气化。在现有习知技术中，为了将电子束撞击蒸镀材14后的高能电荷顺利导出，而不会累积于坩锅15上，因此多半选择导电性佳的材质制作坩锅15。此外，在蒸镀过程中需要维持环境温度达到一定的温度，以维持蒸镀效率，因此大多选择使用导电佳且耐高温特性的金属材质的坩锅15。由于金属同样具有热传性质良好的特点，反而更容易使得坩锅15中的蒸镀材14本身的温度也经由坩锅15而散失，而不易维持蒸镀材14的温度。因此，只有透过不断地加热蒸镀材14，或是以更高能的电子束撞击蒸镀材14，才得以使蒸镀材14处于最佳的蒸镀温度。然而，在不断加热蒸镀材14的方式保持蒸镀材14的温度的过程中，因为蒸镀材14直接与坩锅15直接接触的缘故，蒸镀材14的温度也会不断地传递至坩锅15，造成坩锅15的温度上升甚至过热，因此需再于坩锅15四周设置冷却水路结构17以控制坩锅15温度，以避免因坩锅15温度过高而破坏了蒸镀材14。因此，如何在蒸镀过程中维持蒸镀材14的蒸镀温度，并避免因蒸镀材14的热能传递至坩锅15而使得坩锅15温度过高，实在是目前急需解决的问题之一。由此可见，上述现有的真空蒸镀装置在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新型结构的具有隔热件-->的蒸镀源载具，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。
技术实现思路
本技术的主要目的在于，克服现有的真空蒸镀装置存在的缺陷，而提供一种新型结构的具有隔热件的蒸镀源载具，所要解决的技术问题是使其借由隔热件以有效阻隔蒸镀材的热能散失，并在蒸镀过程中维持蒸镀材的温度，进而稳定蒸镀材的气化速率，达到提高蒸镀效率的功效，非常适于实用。本技术的目的及解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。依据本技术提出的一种具有隔热件的蒸镀源载具，其包括：一载具，其具有界定内部空间体积的侧边及底边；以及一隔热件，其设置于该载具内并设于该底边上。本技术的目的以及解决其技术问题还可以采用以下的技术措施来进一步实现。前述的具有隔热件的蒸镀源载具，其进一步具有一隔热导电材设置于该载具的外侧，且相对于该底边的位置。前述的具有隔热件的蒸镀源载具，其中该隔热导电材的材质为钼、钨、石墨、红铜或不锈钢。前述的具有隔热件的蒸镀源载具，其中该隔热件的材质为钼、钨、陶瓷、石墨、红铜或不锈钢。前述的具有隔热件的蒸镀源载具，其中该隔热件是为一块材或一垫片。前述的具有隔热件的蒸镀源载具，其中该载具的材质为导电材质。前述的具有隔热件的蒸镀源载具，其中该导电材质为钼、钨、石墨、红铜或不锈钢。前述的具有隔热件的蒸镀源载具，其进一步具有一坩锅，其用以容置该载具、该隔热件以及该隔热导电材。前述的具有隔热件的蒸镀源载具，其中该坩锅进一步设置有一控温装置以调控该坩锅的温度。前述的具有隔热件的蒸镀源载具，其中该坩锅的材质为红铜。本技术与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本技术至少具有下列优点及有益效果：透过将隔热件设置于载具内，可阻隔蒸镀材热能散失，达到保温的效果，有助于使蒸镀过程稳定进行。借由隔热件的设置，以利用隔热件维持蒸镀材的温度，以使蒸镀材可有较快的气化速率，进而达到提升蒸镀效率的功效。综上所述，本技术一种具有隔热件的蒸镀源载具，其包括：载具；以及隔热件。其中，载具具有界定内部空间体积的侧边及底边，而隔热件设置于载具内并设于底边上。在蒸镀过程中，蒸镀材则摆放于载具内并位于隔热件上，透过隔热件的设置，可有效阻绝蒸镀材的热能因热传导而散失，以稳定蒸镀材的蒸镀温度，并达到稳定蒸镀速率的目的。本技术在技术上有显著的进步，并具有明显的积极效果，诚为一新颖、进步、实用的新设计。上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技-->术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。附图说明图1是现有习知技术中真空蒸镀装置结构的示意图。图2是本技术一实施例的一种具有隔热件的蒸镀源载具的示意图。图3是本技术另一实施例的一种具有隔热件的蒸镀源载具的示意图。图4是本技术又一实施例的一种具有隔热件的蒸镀源载具的示意图。100：真空蒸镀装置     11：真空腔12：被镀物            13：镀盘14：蒸镀材            15：坩锅16：发射源            17：冷却水路结构20：载具              30：隔热件40：控温装置          50：隔热导电材具体实施方式为更进一步阐述本技术为达成预定专利技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本技术提出的具有隔热件的蒸镀源载具其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。图2是本技术一实施例的一种具有隔热件30的蒸镀源载具的示意图。图3是本技术另一实施例的一种具有隔热件30的蒸镀源载具的示意图。图4是本技术又一实施例的一种具有隔热件30的蒸镀源载具的示意图。如图2所示，本实施例为一种具有隔热件30的蒸镀源载具，其包括：一载具20；以及一隔热件30。载具20为用以承载蒸镀材14的容器，其具有界定内部空间体积的侧边及底边，而蒸镀材14则是置放于载具20的内部空间中。其中，为了排除撞击蒸镀材14后的高能电荷，因此使用材质为导电材质的载具20，以利用导电材质的特性将高能电荷自载具20传导出去，又导电材质可为钼、钨、石墨、红铜或不锈钢等材料。隔热件30是设置于载具20内并设于其底边上，并且在蒸镀过程中，蒸镀材14是摆放于隔热件30上，因此可透过隔热件30的设置使得蒸镀材14不直接与载具20的底边接触，以避免蒸镀材14的温度透过热传导的方本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种具有隔热件的蒸镀源载具，其特征在于，其包括：一载具，其具有界定内部空间体积的侧边及底边；以及一隔热件，其设置于该载具内并设于该底边上。

【技术特征摘要】
1.一种具有隔热件的蒸镀源载具，其特征在于，其包括：一载具，其具有界定内部空间体积的侧边及底边；以及一隔热件，其设置于该载具内并设于该底边上。2.根据权利要求1所述的具有隔热件的蒸镀源载具，其特征在于，其进一步具有一隔热导电材设置于该载具的外侧，且相对于该底边的位置。3.根据权利要求2所述的具有隔热件的蒸镀源载具，其特征在于，其中该隔热导电材的材质为钼、钨、石墨、红铜或不锈钢。4.根据权利要求1至3中任一项所述的具有隔热件的蒸镀源载具，其特征在于，其中该隔热件的材质为钼、钨、陶瓷、石墨、红铜或不锈钢。5.根据权利要求4所述的具有隔热件蒸镀源载具，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈宜杰，白英宏，罗世欣，
申请(专利权)人：聚昌科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71