用于在光伏模块基板上高速率沉积薄膜层的模块化系统技术方案

本申请涉及用于在光伏模块基板上高速率沉积薄膜层的模块化系统。其中，一种用于在光伏(PV)模块基板(12)上沉积多个薄膜层的系统(100)和相关方法包括第一加工侧(102)，其中基板在第一方向(103)上被输送以在基板上沉积第一薄膜层。第二加工侧(110)相对于该第一加工侧可操作地安置，使得离开第一加工侧的基板随后在第二方向(111)上被输送穿过第二加工侧，以在该第一薄膜层上沉积第二薄膜层。第一转移站(118)可操作地安置在第一加工侧与第二加工侧之间，以从第一加工侧的出口(108)接收基板且将基板引入到第二加工侧的入口(114)内，使得基板连续移动穿过第一加工侧和第二加工侧以在其上沉积多个薄膜。

【技术实现步骤摘要】

本文所公开的主题大体而言涉及在基板上沉积薄膜，且更特定而言涉及用于在光伏模块基板上沉积多个薄膜层的高生产量系统。
技术介绍
薄膜光伏(PV)模块(也被称作“太阳能电池板”或“太阳能模块”)在工业中被广泛地接受和关注，特别是基于与硫化镉(CcK)配对作为光反应性部件的碲化镉(CdTe)的模块。CdTe是一种半导体材料，其特征特别适合于将太阳能(阳光)转换成电。举例而言， CdTe具有1.45eV的能带隙，与在过去用于太阳能电池应用的较低能带隙(IeV)的半导体材料相比，其能转换更多来自太阳光谱的能量。而且，与较低能带隙材料相比，CdTe在较低或漫射光条件下更有效地转换能量，且因此与其它常规材料相比，在一天中或在低光(即，多云)条件下具有更长有效转换时间通常，CdTe PV模块包括在沉积CdTe层之前沉积到玻璃基板上的多个膜层。举例而言，透明导电氧化物(TCO)层首先沉积到玻璃基板表面上，且电阻透明缓冲(RTB)层然后被涂覆到TCO层上。RTB层可为锌锡氧化物(ZTO)层且可被称作“ΖΤ0”层。硫化镉(CdS) 层涂覆于RTB层上。这些各种层可在常规溅射沉积过程中涂覆，常规溅射沉积过程本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于在光伏（ＰＶ）模块基板（１２）上沉积多个薄膜层的系统（１００），包括：第一加工侧（１０２），其中，所述基板在第一方向（１０３）上被输送，所述第一加工侧还包括加工站（１０４），所述加工站（１０４）被构造成在所述基板上沉积第一薄膜层；第二加工侧（１１０），其相对于所述第一加工侧可操作地安置，使得离开所述第一加工侧的基板随后在第二方向（１１１）上被输送穿过所述第二加工侧，所述第二加工侧还包括加工站（１１２），所述加工站（１１２）被构造成在所述第一薄膜层上沉积第二薄膜层；以及第一转移站（１１８），其可操作地安置在所述第一加工侧与所述第二加工侧之间，以从所述第一加工侧的出口（１０８）接收所述...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：R·W·布莱克，B·R·墨菲，
申请(专利权)人：初星太阳能公司，
类型：发明
国别省市：US