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本申请涉及用于在光伏模块基板上高速率沉积薄膜层的模块化系统。其中，一种用于在光伏(PV)模块基板(12)上沉积多个薄膜层的系统(100)和相关方法包括第一加工侧(102)，其中基板在第一方向(103)上被输送以在基板上沉积第一薄膜层。第二加...
该专利属于初星太阳能公司所有，仅供学习研究参考，未经过初星太阳能公司授权不得商用。

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