【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种生产多晶硅用的还原炉，特别是一种以提高单炉的产量和降 低能耗为目的大对棒数多晶硅还原炉。
技术介绍
多晶硅还原炉是生产多晶硅原料的关键设备，同时又是一个高耗能的设备。因此， 还原炉的设计和制造，直接影响到产品的产量、质量和生产成本。随着多晶硅市场的竟争日 趋激烈，要求多晶硅生产必须做到充分利用生产资料，提高生产效率、降低生产成本。因此， 开发大对棒数还原炉为多晶硅生产企业提高产量、质量、节省投资显得尤为重要。现有的多晶硅还原炉结构由底盘、炉体组成，炉子主体采用不锈钢材料。底盘上设 置电极、进气口和还原尾气排气口。从节能降耗、提高生产效率、降低生产成本考虑，其单炉 产量有待进一步提高。
技术实现思路
本技术的目的是为了提高产品的产量和质量，对现有多晶硅还原炉底盘和炉 体的冷却腔的结构和尺寸进行优化设计，设计一种提高多晶硅的产量和降低能耗，降低多 晶硅生产的成本的高产多晶硅还原炉。本技术的结构特点实现了上述设计目的。本技术是一种24对棒多晶硅 还原炉，由底盘和炉体构成，在炉体和底盘上设有冷却水腔和冷却水进出水口，底盘上配有 电极、进气口和排气口，底盘与炉体采用紧固件连接，其特征在于还原炉内壁有一层厚度 为2-3mm的光滑的银层，底盘上有24对用于生成硅棒的电极。上述设置的24对电极在底盘上分三圈在360°上均布内圈4对电极，中圈8对电 极，外圈为12对电极，底盘上位于内圈和中圈电极之间在相距180°设置2个进气喷嘴，中 圈电极与外圈电极之间360°上均勻分布4个进气喷嘴，底盘中心设有还原尾气的排气口。本技术由于采用了在炉子底盘上采用大对数电极、在还...
【技术保护点】
２４对棒多晶硅还原炉，包括底盘和炉体，在炉体和底盘上设有冷却水腔和用于冷却水进出的进出口，底盘上配有电极、进气口和排气口，底盘与炉体采用紧固件连接，炉体上设有用于观察和测量温度的视孔，其特征在于还原炉内壁有一层厚度为２－３ｍｍ的光滑的银层，底盘上有２４对用于生成硅棒的电极。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王姗，
申请(专利权)人：成都蜀菱科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：90[中国|成都]
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