下载24对棒多晶硅还原炉的技术资料

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本24对棒多晶硅还原炉在炉子底盘上采用大对数电极、还原炉内壁设置光滑的银层,均匀设置多个进气喷嘴,使多晶硅还原炉中反应时的供料气体分布更均匀,反应更充分,多晶硅棒数量更多,从而显著提高了反应效率和单炉产量;并利用银的化学特性和良好的加工性,...
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