The utility model discloses a cleaning device for polysilicon reducing furnace, which comprises a base, a drive motor, a hydraulic telescopic rod, rotary table, the center column, cleaning brush and spring, the driving motor arranged on the base, the hydraulic telescopic rod is vertically connected to the drive motor, the driving motor can the hydraulic telescopic rod rotates, the rotary table level is sheathed on the central column and is fixedly connected with the center column, at the top of the central column is fixed on the hydraulic telescopic rod, the turntable of the upper surface and the lower surface is provided with a sliding groove, the sliding chute can be provided with the the cleaning brush, the cleaning brush is connected through the spring and the center column. The cleaning device of the utility model can improve the cleaning effect and the cleaning efficiency.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅还原炉清洗设备
,特别涉及一种用于多晶硅还原炉的清洗装置。
技术介绍
多晶硅,是单质硅的一种形态,是极为重要的优良半导体材料。多晶硅是电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的基础材料,多晶硅生产主要是采用改良西门子法,改良西门子法生产多晶硅的反应器主要采用多晶硅还原炉,该方法是将多晶硅还原炉内安装沉积载体通电发热,在多晶硅还原炉内将高纯度氯硅烷与氢气的混合气体加热到1000℃以上发生反应生成硅,硅沉积在上述沉积载体上的过程,伴随着多晶硅生产,多晶硅还原炉内表面会被高温混合气烧黑,同时也会在多晶硅还原炉内表面上沉积一定厚度的多晶硅和副产物,多晶硅生产过程中,多晶硅还原炉内表面要求洁净、光滑,最好呈镜面。而多晶硅还原炉内表面发黑并沉积多晶硅、无定型硅、高硅氯聚物,多晶硅还原炉内表面粗糙不平等因素会造成多晶硅还原炉内热场分布不均匀、无反射,从而引起多晶硅生产成本的上升,生产效率的下降,因此,对还原炉内的清洗十分重要。目前,一般使用的炉筒清洗方法是通过喷淋装置,使用热碱液及脱盐水对炉筒内壁进行喷淋清洗,之后再用白布蘸取无水乙醇将炉筒内壁及底部接触面擦洗干净,最后在炉筒内架梯或平台,作业人员人工手持氮气软管,进入炉筒内再将炉筒彻底吹干,但这样的清洗方式,效率较低,且难以保证清洗效果。
技术实现思路
有鉴于此,本技术提供一种用于多晶硅还原炉的清洗装置,可提高清洗效果和清洗效率。本技术通过以下技术手段解决上述问题:本技术提供的用于多晶硅还原炉的清洗装置,包括底座、驱动电机、液压伸缩杆、转盘、中心柱、清洗刷和弹簧,驱 ...
【技术保护点】
一种用于多晶硅还原炉的清洗装置,其特征在于:包括底座(1)、驱动电机(2)、液压伸缩杆(3)、转盘(4)、中心柱(5)、清洗刷(6)和弹簧(7),驱动电机(2)设于所述底座(1)上,所述液压伸缩杆(3)竖直连接于所述驱动电机(2)上方,所述驱动电机(2)可驱动所述液压伸缩杆(3)旋转,所述转盘(4)水平套设于所述中心柱(5)上并与所述中心柱(5)固定连接,所述中心柱(5)固定于所述液压伸缩杆(3)的顶端,所述转盘(4)的上表面和下表面均设有滑槽,所述滑槽内均可滑动的设置有所述清洗刷(6),所述清洗刷(6)通过所述弹簧(7)与所述中心柱(5)连接。
【技术特征摘要】
1.一种用于多晶硅还原炉的清洗装置,其特征在于:包括底座(1)、驱动电机(2)、液压伸缩杆(3)、转盘(4)、中心柱(5)、清洗刷(6)和弹簧(7),驱动电机(2)设于所述底座(1)上,所述液压伸缩杆(3)竖直连接于所述驱动电机(2)上方,所述驱动电机(2)可驱动所述液压伸缩杆(3)旋转,所述转盘(4)水平套设于所述中心柱(5)上并与所述中心柱(5)固定连接,所述中心柱(5)固定于所述液压伸缩杆(3)的顶端,所述转盘(4)的上表面和下表面均设有滑槽,所述滑槽内均可滑动的设置有所述清洗刷(6),所述清洗刷(6)通过所述弹簧(7)与所述中心柱(5)连接。2.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于:所述清洗刷(6)包...
【专利技术属性】
技术研发人员:王倩,何劲松,时鹏飞,杜争虎,梁涛,杨春艳,童颖娟,
申请(专利权)人:西安航新石化设备有限责任公司,
类型:新型
国别省市:陕西;61
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