一种多晶铸锭用热交换台及铸锭炉制造技术

技术编号:15426145 阅读:306 留言:0更新日期:2017-05-25 14:55
本发明专利技术公开了一种多晶铸锭用热交换台,包括热交换台本体,所述热交换台本体顶部边缘设有顶部保温条,热交换台本体侧面设有侧边保温条,热交换台本体底部中心区域设有底部保温板;本发明专利技术进一步公开了一种铸锭炉,包括隔热笼、石墨底板、石墨护板、侧加热器、顶部加热器,所述石墨护板设于所述石墨底板上,所述侧加热器设于所述石墨护板与所述隔热笼的侧壁之间,所述顶部加热器设于所述石墨护板与所述隔热笼的顶壁之间,铸锭炉还包括上述的多晶铸锭用热交换台,热交换台本体架设于隔热笼内,石墨底板设于所述热交换台本体上,本发明专利技术具有结构简单、有利于对籽晶的控制、减少微晶和硬质点的出现概率、节能降耗等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶铸锭用热交换台及铸锭炉
本专利技术涉及多晶硅制造设备,尤其涉及一种多晶铸锭用热交换台及铸锭炉。
技术介绍
为实现多晶硅的定向凝固生长,铸锭炉内需要安装一个稳定高效的热场。目前常用的多晶硅铸锭炉结构如附图1所示,按功能划分包括保温部分、加热部分和坩埚支撑部分。外围保温部分统称隔热笼,包括固定式顶部隔热板、升降式侧面隔热板和固定式底部隔热板组成,材质多为保温碳毡;加热部分一般由顶部加热器和侧部加热器组成;热交换台放于隔热笼内的立柱上,热交换台顶部边缘和底部边缘安装有保温条。装料前,将陶瓷坩埚放置于石墨底板上,装满硅料后,用叉车运送至热交换台上,坩埚四周用石墨护板保护。在硅料熔化进入晶体生长阶段后,通过提升侧面隔热板,使热量从隔热笼底部流出,从而降低热场底部温度,获得晶体生长所需的从上向下降低的温度梯度。在目前的晶体硅铸锭技术中,主要有普通多晶硅铸锭、准单晶硅铸锭及应用比较广泛的高效多晶硅铸锭技术。准单晶硅铸锭与高效多晶铸锭在装料时必须在坩埚底部铺设籽晶,且需保证籽晶在后期熔化过程中不被完全熔化,以作为后期晶体生长的形核中心。现有铸锭炉用于有籽晶铸锭技术时,由于热交换台与侧面隔热板本文档来自技高网...
一种多晶铸锭用热交换台及铸锭炉

【技术保护点】
一种多晶铸锭用热交换台,包括热交换台本体(1),所述热交换台本体(1)顶部边缘设有顶部保温条(11),其特征在于:所述热交换台本体(1)侧面设有侧边保温条(12),所述热交换台本体(1)底部中心区域设有底部保温板(13)。

【技术特征摘要】
1.一种多晶铸锭用热交换台,包括热交换台本体(1),所述热交换台本体(1)顶部边缘设有顶部保温条(11),其特征在于:所述热交换台本体(1)侧面设有侧边保温条(12),所述热交换台本体(1)底部中心区域设有底部保温板(13)。2.根据权利要求1所述的多晶铸锭用热交换台,其特征在于:所述热交换台本体(1)底部的面积为S1,所述底部保温板(13)的面积为S2,则S2=0.1S1~0.5S2。3.根据权利要求1或2所述的多晶铸锭用热交换台,其特征在于:所述底部保温板(13)的厚度为5mm~20mm。4.根据权利要求1或2所述的多晶铸锭用热交换台,其特征在于:所述底部保温板(13)的形状为圆形、正方形或长方形。5.根据权利要求1或2所述的多晶铸锭用热交换台,其特征在于:所述顶部保温条(11)、侧边保温条(12)和所述底部保温板(13)的导热系数均小于所述热交换台本体(1)的导热系数。6.一种铸锭炉,包括隔热笼(2)、石墨底板(...

【专利技术属性】
技术研发人员:明亮黄美玲段金刚邱昊
申请(专利权)人:湖南红太阳光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:湖南,43

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