一种测量石英棒制造技术

本实用新型专利技术涉及一种测量石英棒，包括：棒体，所述棒体的至少一端部设置有由与硅液不浸润的材料制成的涂层，所述涂层覆盖棒体在所述端部处的外表面。上述测量石英棒的棒体的表面具有与硅液不浸润的材料制成的涂层，从而能够避免高温下与硅液的反应和粘连，提高测量精度，延长使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种测量石英棒
本技术涉及多晶硅铸锭领域，具体涉及一种多晶硅铸锭工艺中用以测量硅料熔化速度和底部籽晶的剩余高度情况的测量石英棒。
技术介绍
在多晶硅铸锭工艺过程中，为了调试晶体生长工艺，改进晶体生长质量，需要掌握不同阶段硅锭的生长速度信息，这些数据的获得通常通过在炉体顶部插一根石英棒的方式来测量。近几年来，光伏铸锭领域发展起来的一种半熔高效铸锭工艺，即在熔化阶段控制底部籽晶合理的剩余高度，也是通常用一根石英棒来精确测量熔化速度和底部籽晶的剩余高度情况，确保底部籽晶不会被熔化掉，也要保证不会剩余过多，因此，操作至关重要，熔化测量也成为高效多晶生产最关键的环节之一，石英棒的质量的关系到最终硅锭的质量、成品率和生产效益等。然而，石英棒在炉体内与硅液接触会发生反应腐蚀和弯曲变形，硅液中的杂质常常会粘附在石英棒表面，给测量操作带来难度，存在测量误差加大的可能，甚至发生测量失效问题，影响最终产品品质。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种测量石英棒，能够避免高温下与硅液的反应和粘连，提高测量精度，延长使用寿命。一种测量石英棒，包括：棒体，所述棒体的至少一端部设置有由与硅液不浸润的材料制成的涂层，所述涂层覆盖棒体在所述端部处的外表面。上述测量石英棒的棒体的表面具有与硅液不浸润的材料制成的涂层，从而能够避免高温下与硅液的反应和粘连，提高测量精度，延长使用寿命。在其中一个实施例中，所述棒体的两个端部均覆盖有所述涂层。在其中一个实施例中，所述端部上的涂层覆盖至少1/3长度的所述棒体。在其中一个实施例中，整支棒体的全部外表面均覆盖有所述涂层。在其中一个实施例中，所述外表面包括圆柱面部分和端面。在其中一个实施例中，所述涂层为氮化硅涂层。在其中一个实施例中，所述棒体的直径为3mm～30mm，长度为1000mm～5000mm。在其中一个实施例中，所述棒体的直径为8mm～12mm，长度为1500mm～2500mm。在其中一个实施例中，所述涂层的厚度为0.01mm～10mm。在其中一个实施例中，所述棒体为石英棒或石英玻璃棒。附图说明图1为本技术实施例一的测量石英棒的示意图；图2为图1所示的测量石英棒从一端部观察时的示意图；图3为本技术实施例二的测量石英棒的示意图；图4为本技术实施例三的测量石英棒的示意图。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。下面结合附图，说明本技术的较佳实施方式。实施例一参图1，本技术提供一种测量石英棒100，其用于在多晶硅铸锭工艺过程中测量硅料熔化速度和底部籽晶的剩余高度情况，以确保底部籽晶不会被全部熔化掉，同时也要保证不会剩余过多，即保证在熔化阶段控制底部籽晶合理的剩余高度。测量石英棒100是一种表面带有涂层的复合棒。参图2，测量石英棒100包括中间的棒体110和设置在棒体110外表面的由与硅液不浸润的材料制成的涂层120。本实施例中，整支棒体110的外表面上均覆盖有涂层120。棒体110可以为石英棒或石英玻璃棒。涂层120为氮化硅涂层。涂层120与棒体110紧密结合，例如可以通过化学气相沉淀的方法形成涂层120。当利用测量石英棒100插入硅液中进行测量时，由于氮化硅与硅液不浸润，因此测量石英棒100不会与硅液粘接在一起，进而避免可能导致裂锭的风险。此外，由于氮化硅的存在，棒体110不与硅液反应，其表面不会粘附杂质，保证了测量精度。进一步地，氮化硅具有耐高温的特点，插入硅液中时，测量石英棒100不会轻易弯曲变形，从而显著提高和延长测量石英棒100的使用寿命。棒体110的直径为3mm～30mm，长度为1000mm～5000mm。优选地，棒体的直径为8mm～12mm，长度为1500mm～2500mm。使用测量石英棒100进行测量时，其可连接在多晶硅铸锭炉内或外的升降单元上，利用升降单元来控制测量石英棒100，使其进入硅液中，或者从硅液中离开。本实施例中，整支棒体110的外表面上具有涂层120。此处的外表面是指棒体所有裸露在外的表面。如当棒体110为圆柱形时，外表面包括圆柱面部分和端面，其中端面有两个。所有的外表面均具有涂层120，则意味着整个圆柱面部分，以及两个端面上均设置有涂层120。这样，测量石英棒100插入硅液中时，硅液根本不会侵蚀到中间的棒体110。测量石英棒100在使用时，任意一端部均可以用作插入硅液中的测量端。换言之，测量石英棒100的两端部均可以用作测量端。当其中一端部不满足测量要求时，可以利用另外一端部进行测量，提高了测量石英棒100的利用效率，另一方面，也相当于提高了测量石英棒100的使用寿命。实施例二参图3，本技术提供一种测量石英棒200，用于在多晶硅铸锭工艺过程中测量硅料熔化速度和底部籽晶的剩余高度情况，以确保底部籽晶不会被全部熔化掉，同时也要保证不会剩余过多，即保证在熔化阶段控制底部籽晶合理的剩余高度。测量石英棒200包括棒体210。棒体210呈圆柱形，其一个端部上设置有由与硅液不浸润的材料制成的涂层220。涂层220覆盖棒体210该端部的外表面。此处而言，涂层220覆盖棒体210的部分圆柱面和两个端面中的一个。棒体110的直径为3mm～30mm，长度为1000mm～5000mm。优选地，棒体的直径为8mm～12mm，长度为1500mm～2500mm。无论何种规格，端部的涂层220覆盖至少1/3长度的棒体210。由此，能够保证具有涂层220的一端部作为测量端时，硅液不会侵蚀到未设置涂层210的棒体110部分，能够保证测量顺利进行。实施例三参图4，本技术提供一种测量石英棒300，用于在多晶硅铸锭工艺过程中测量硅料熔化速度和底部籽晶的剩余高度情况，以确保底部籽晶不会被全部熔化掉，同时也要保证不会剩余过多，即保证在熔化阶段控制底部籽晶合理的剩余高度。测量石英棒300包括棒体310。棒体310呈圆柱形，其相对的两个端部上分别设置有由与硅液不浸润的材料制成的涂层320。换言之，棒体310的两端均设置有涂层320，但中间部分则未上设置涂层320。对于任一个设置有涂层320的端部而言，涂层320覆盖该端部的外表面，具体地，涂层320覆盖棒体310的部分圆柱面和两个端面中的一个。棒体110的直径为3mm～30mm，长度为1000mm～5000mm。优选地，棒体的直径为8mm～12mm，长度为1500mm～2500mm。无论何种规格，端部的涂层220覆盖至少1/3长度的棒体310。由此，能够保证具有涂层220的一端作为测量端时，硅液不会侵蚀到未设置涂层320的棒体110部分，能够保证测量顺利进行。棒体310的两端部均设置有涂层320。总体而言，至少1/3长度的棒体310被涂层320覆盖。测量石英棒300在使用时，任意一端部均可以用作插入硅液中的测量端。换言之，测量石英棒300的两端部均可以用作测量端。当其中一端部不满足测量要求时，可以利用另外一端部进行测量，提高了测量石本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量石英棒，其特征在于：包括：棒体，所述棒体的至少一端部设置有由与硅液不浸润的材料制成的涂层，所述涂层覆盖棒体在所述端部处的外表面。

【技术特征摘要】
1.一种测量石英棒，其特征在于：包括：棒体，所述棒体的至少一端部设置有由与硅液不浸润的材料制成的涂层，所述涂层覆盖棒体在所述端部处的外表面。2.根据权利要求1所述的测量石英棒，其特征在于，所述棒体的两个端部均覆盖有所述涂层。3.根据权利要求1或2所述的测量石英棒，其特征在于，所述端部上的涂层覆盖至少1/3长度的所述棒体。4.根据权利要求1所述的测量石英棒，其特征在于，整支棒体的全部外表面均覆盖有所述涂层。5.根据权利要求1所述的测量石英棒，其特征在于，所述外表面包括圆柱面部...

【专利技术属性】
技术研发人员：张华利，郭晓琛，吴义华，徐岩，
申请(专利权)人：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32