【技术实现步骤摘要】
一种大容量多晶硅铸锭炉的热场结构
本技术涉及一种铸锭炉,特别涉及一种大容量多晶硅铸锭炉的热场结构。
技术介绍
目前,多晶硅铸锭炉主要用于太阳能级多晶硅锭的大生产,它采用先进的多晶硅定向凝固技术,将硅料高温熔融后通过特殊工艺定向冷凝结晶,但是传统的铸锭炉的热场结构不够完善,会导致晶体生长温度梯度的不稳定。为此,我们提出一种大容量多晶硅铸锭炉的热场结构。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种大容量多晶硅铸锭炉的热场结构,通过在坩埚周围增设隔热笼和加热器,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种大容量多晶硅铸锭炉的热场结构,包括保温腔体、支撑柱、下加热器、侧隔热笼、上加热器、升降丝杠、坩埚和支撑板,所述保温腔体下端设置有支撑柱,所述支撑柱顶端连接有支撑板以及设置在支撑板上侧的下隔热笼,所述下隔热笼上侧设置有下加热器,所述下加热器底端与下加热棒连接,所述支撑板两端上侧设置有侧隔热笼,所述侧隔热笼一侧设置有侧加热器,所述所述下加热器上侧设置有坩埚,所述坩埚上侧设置有上加热器,所述上加热器上侧设置有上隔热笼,所述上加热器两侧顶端连接有上加热棒,所述加热器顶端设置有观察管,所述上隔热笼两侧顶端连接有升降丝杠。进一步地,所述观察管顶端设置有观察孔。进一步地,所述保温腔体顶端设置有顶盖。进一步地,所述侧加热器和侧隔热笼通过固定螺丝与支撑板连接。与现有技术相比,本技术具有如下有益效果:通过在坩埚周围设设置的上隔热笼、下隔热笼和侧隔热笼能够保持温度,避免温度向外界传递,通过设置的上加热器、下加热器和侧加热器使得晶体生长温度梯度更加稳定 ...
【技术保护点】
一种大容量多晶硅铸锭炉的热场结构,包括保温腔体(1)、支撑柱(2)、下加热器(5)、侧隔热笼(7)、上加热器(8)、升降丝杠(14)、坩埚(16)和支撑板(17),其特征在于:所述保温腔体(1)下端设置有支撑柱(2),所述支撑柱(2)顶端连接有支撑板(17)以及设置在支撑板(17)上侧的下隔热笼(4),所述下隔热笼(4)上侧设置有下加热器(5),所述下加热器(5)底端与下加热棒(3)连接,所述支撑板(17)两端上侧设置有侧隔热笼(7),所述侧隔热笼(7)一侧设置有侧加热器(15),所述下加热器(5)上侧设置有坩埚(16),所述坩埚(16)上侧设置有上加热器(8),所述上加热器(8)上侧设置有上隔热笼(9),所述上加热器(8)两侧顶端连接有上加热棒(13),所述加热器(8)顶端设置有观察管(10),所述上隔热笼(9)两侧顶端连接有升降丝杠(14)。
【技术特征摘要】
1.一种大容量多晶硅铸锭炉的热场结构,包括保温腔体(1)、支撑柱(2)、下加热器(5)、侧隔热笼(7)、上加热器(8)、升降丝杠(14)、坩埚(16)和支撑板(17),其特征在于:所述保温腔体(1)下端设置有支撑柱(2),所述支撑柱(2)顶端连接有支撑板(17)以及设置在支撑板(17)上侧的下隔热笼(4),所述下隔热笼(4)上侧设置有下加热器(5),所述下加热器(5)底端与下加热棒(3)连接,所述支撑板(17)两端上侧设置有侧隔热笼(7),所述侧隔热笼(7)一侧设置有侧加热器(15),所述下加热器(5)上侧设置有坩埚(16),所述坩埚(16)上侧设置有上...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵博成,彭晋平,
申请(专利权)人:浙江晶鸿新能源科技有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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