【技术实现步骤摘要】
201521136901
【技术保护点】
一种多晶硅铸锭炉的散热系统，所述铸锭炉包括：炉体，所述炉体上设置有抽气孔，所述炉体内设置有保温护罩，所述保温护罩内设置有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩、对应所述石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于所述石墨护罩底部的散热平台，所述顶部加热器与侧部加热器由安装在所述炉体顶部的外部加热铜电极控制以实现对石墨护罩顶部及侧部的外部加热，所述保温护罩及散热平台通过设置在所述炉体底部的石墨支柱来支撑，所述散热平台支撑所述石墨护罩，所述石墨护罩的底板支撑所述坩埚，其特征在于，所述散热平台沿厚度方向在下表面设置一圈横向隔热槽，所述散热平台沿宽度方向在四周端面设置一圈纵向隔热槽；所述横向隔热槽与纵向隔热槽内均填充有隔热材料。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋兴贤，
申请(专利权)人：常州兆晶光能有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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