一种氢化炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种氢化炉，包括炉筒（１）、底盘（２）、电极组件（３）、加热器（４）、保温罩（５）、设备支撑架（６）、出气口（８）和混合气进口（９）；其中炉筒（１）与底盘（２）连接在一起；炉筒（１）内部有加热器（４）和保温罩５；加热器（４）固定在电极组件（３）上，电极组件（３）通过底盘上的电极座安装在底盘（２）上，底盘（２）和电极组件（３）是绝缘的；保温罩（５）直接放置在底盘（２）上，水冷高温出气口（８）焊接在底盘（２）上，在炉筒（１）的顶部有混合气进口（９）；整个炉体安装在支撑架（６）上。该氢化炉使用方便安全、效率高。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅领域，尤其是一种生产多晶硅的氪化炉。
技术介绍
多晶硅生产中会产生大量的副产物，每生产1 kg多晶硅会产生 15 kg的 SiC14,其处理的办法一般有冷氬化、生产硅酸乙酯、气相白碳黑、外卖处理， 这几种方法春在生产成本高、反应危险性大、工艺复杂不稳定、环保无法处理 的难题，这对于多晶硅工厂节能降耗，取得经济效益和社会效益是一大瓶颈。 原有的传统俄罗斯SiC14热氢化炉的结构是由炉筒、整板式底盘和上封头构成， 炉筒上有冷却水出口、冷却水腔、冷却水进口。原传统俄罗斯氬化炉在底盘结 构、电极组件的设计缺陷呆滞长期低热复合运行，耗时、耗能、耗工，且保温 罩用金属制作在高温下会产生腐蚀其金属离子污染工艺介质。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种氢化炉，该氢化炉包括炉筒1、带冷却腔的 底盘2、电极组件3、碳碳复合材料U型加热器4、保温罩5、设备支撑架6构 成，水冷视镜7，水冷高温出气口 8和混合气进口 9，其中炉筒1与底盘2之 间用法兰连接，炉筒1内部有碳碳复合材料U型加热器4和保温罩5，加热器 4位于保温罩5内部，加热器4通过螺栓固定在电极组件3上，电极组件3通 过底盘上的电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氢化炉，其特征在于，包括炉筒（１）、底盘（２）、电极组件（３）、加热器（４）、保温罩（５）、设备支撑架（６）、出气口（８）和混合气进口（９）；其中炉筒（１）与底盘（２）连接在一起；炉筒（１）内部有加热器（４）和保温罩５；加热器（４）固定在电极组件（３）上，加热器（４）位于保温罩（５）内部，电极组件（３）通过底盘上的电极座安装在底盘（２）上，底盘（２）和电极组件（３）是绝缘的；保温罩（５）直接放置在底盘（２）上，水冷高温出气口（８）焊接在底盘（２）上，在炉筒（１）上有混合气进口（９）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张惠国，蒲晓东，赵兴华，刘勇，毛庆，朱建军，
申请(专利权)人：四川新光硅业科技有限责任公司，四川新光多晶硅工程技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：51[中国|四川]