一种氢化炉发热体制造技术

技术编号:6771301 阅读:254 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种氢化炉发热体,包括:主体和翅片;主体为U形结构;翅片设置于主体的外表面。本实用新型专利技术公开的氢化炉发热体,在主体的外表面设置翅片,增大了发热体的表面积,在不增加发热体的有效横截面积的情况下发热体的质量保持不变,提高了发热体的比表面积,发热体的表面积增大之后,增大了四氯化硅和氢气参与反应的几率,提高了反应转化率,增加了三氯氢硅的产量;另外,发热体的有效横截面积直接决定其耗电量,由于发热体的有效横截面积与现有发热体的有效横截面积一致,所以本实用新型专利技术公开的发热体的耗电量与现有的发热体的耗电量一致,在反应效率提高的情况下,降低了单位三氯氢硅的电耗,从而降低了生产成本。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及氢化炉领域,尤其涉及一种氢化炉发热体
技术介绍
在采用改良西门子法生产多晶硅的工艺中,会产生大量副产物四氯化硅。四氯化 硅极易与水反应生成二氧化硅和氯化氢,如果直接将四氯化硅排放会严重影响生态环境, 因此需要对四氯化硅进行妥善处理。目前工业化回收利用四氯化硅的方法,主要是通过氢化工艺将四氯化硅重新转化 为多晶硅的生产原料三氯氢硅。四氯化硅高温氢化工艺(也称为热氢化)是将四氯化硅与 氢气按一定配比在温度为1100-130(TC时反应生成三氯氢硅,反应方程式为SiCl4+H2 = SiHCl3+HCl此化学反应为可逆反应,工业生产中一次摩尔转化率一般在10-30%。反应转化 率越低,生成三氯氢硅的产量越低,而且单位电耗越高、生产成本越高。如何提高四氯化硅 氢化转化率是目前多晶硅生产厂家面临的技术课题。影响反应转化率的因素包括工艺原 因、设备(氢化炉)原因、发热体的结构设计和材质选择。发热体是氢化炉的核心部件,四氯化硅和氢气在发热体的外表面周围发生反应, 发热体外表面的大小直接影响反应转化率。目前多晶硅生产厂家普遍采用扁状的条块碳碳 纤维(CFC)发热体或筒形石墨发热体。由本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氢化炉发热体,其特征在于,包括:主体和翅片;所述主体为U形结构;所述翅片设置于所述主体的外表面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:潘和平
申请(专利权)人:重庆大全新能源有限公司
类型:实用新型
国别省市:85

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