【技术实现步骤摘要】
本技术涉及氢化炉领域,尤其涉及一种氢化炉发热体。
技术介绍
在采用改良西门子法生产多晶硅的工艺中,会产生大量副产物四氯化硅。四氯化 硅极易与水反应生成二氧化硅和氯化氢,如果直接将四氯化硅排放会严重影响生态环境, 因此需要对四氯化硅进行妥善处理。目前工业化回收利用四氯化硅的方法,主要是通过氢化工艺将四氯化硅重新转化 为多晶硅的生产原料三氯氢硅。四氯化硅高温氢化工艺(也称为热氢化)是将四氯化硅与 氢气按一定配比在温度为1100-130(TC时反应生成三氯氢硅,反应方程式为SiCl4+H2 = SiHCl3+HCl此化学反应为可逆反应,工业生产中一次摩尔转化率一般在10-30%。反应转化 率越低,生成三氯氢硅的产量越低,而且单位电耗越高、生产成本越高。如何提高四氯化硅 氢化转化率是目前多晶硅生产厂家面临的技术课题。影响反应转化率的因素包括工艺原 因、设备(氢化炉)原因、发热体的结构设计和材质选择。发热体是氢化炉的核心部件,四氯化硅和氢气在发热体的外表面周围发生反应, 发热体外表面的大小直接影响反应转化率。目前多晶硅生产厂家普遍采用扁状的条块碳碳 纤维(CFC)发热体 ...
【技术保护点】
1.一种氢化炉发热体,其特征在于,包括:主体和翅片;所述主体为U形结构;所述翅片设置于所述主体的外表面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:潘和平,
申请(专利权)人:重庆大全新能源有限公司,
类型:实用新型
国别省市:85
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