热氢化炉尾气快速喷淋冷却装置制造方法及图纸

技术编号:8665220 阅读:271 留言:0更新日期:2013-05-02 18:42
本实用新型专利技术涉及一种热氢化炉尾气快速喷淋冷却装置,具体地说是一种多晶硅还原炉、热氢化炉尾气快速喷淋冷却装置,本实用新型专利技术将氯硅烷冷凝液通过喷淋管道雾化喷淋后,快速冷却高温尾气成中温尾气后再进入换热器,使得换热器工作环境温度处在比较安全的中低温度范围内,不再使得换热器单独承受高温换热负荷,最大限度的减少了换热器换热负荷和热冲击问题;该喷淋装置结构简洁,温度计、阀门、喷淋单元集成于一个法兰中,喷淋冷却效率高,现场安装改造简单、运行操作、拆装等维护工作方便快捷。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种热氢化炉尾气快速喷淋冷却装置,具体地说是一种多晶硅还原炉、热氢化炉尾气快速喷淋冷却装置,属于多晶硅生产领域。二
技术介绍
多晶硅生产领域中,还原炉负责多晶硅的生产,热氢化炉负责四氯化硅向三氯氢硅的转化,都是通过将反映气体通入高温炉中加热反映,反应后的尾气温度很高,还原炉尾气温度可达到700-800度,而热氢化炉的尾气温度更高,可达到800-1000度,高温尾气需要用换热器降温后才能送入下一个尾气处理单元。因此尾气换热器就是在高温冷热不断换热冲击中工作运行,属于高负荷的工作设备,同时随着换热器运行时间的加长,换热器在不断换热冲击中和其他问题导致换热能力均会出现下降,换热效率下降使得炉子加热温度必须降低,带来加热炉能耗的增加;同时各种物料长时间冲击腐蚀和冷热冲击应力腐蚀换热器,会导致换热出现泄漏情况,尤其是水换热的换热器更是危险,泄漏的物料和水容易剧烈化学反应,会产生重大的安全事故和工艺质量事故。解决以上换热器高温热冲击和换热效率问题,维持换热器稳定安全运行的重要措施,就是利用尾气冷却后的冷凝液(氯硅烷)对高温尾气进行喷淋冷却,将尾气温度在进入换热器前温度降低至400度以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热氢化炉尾气快速喷淋冷却装置,它包括喷淋法兰(1)、L型管道(2)组成,其特征在于:喷淋法兰(1)和L型管道(2)底部法兰连接,在L型管道(2)前、后端分别设置法兰,前法兰连接炉子高温尾气(A)管段,后法兰连接换热器;喷淋管(3)上安装有流量调节阀(V),尾气喷淋前温度计(T2)、冷却后温度计(T1)和喷淋管(3)集成于喷淋法兰(1)内。

【技术特征摘要】
1.一种热氢化炉尾气快速喷淋冷却装置,它包括喷淋法兰(1)、L型管道(2)组成,其特征在于:喷淋法兰(I)和L型管道(2)底部法兰连接,在L型管道(2)前、后端分别设置法兰,...

【专利技术属性】
技术研发人员:何克周胡俊辉薛涛张玉泉李波王相君
申请(专利权)人:陕西天宏硅材料有限责任公司
类型:实用新型
国别省市:

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