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本实用新型涉及一种热氢化炉尾气快速喷淋冷却装置,具体地说是一种多晶硅还原炉、热氢化炉尾气快速喷淋冷却装置,本实用新型将氯硅烷冷凝液通过喷淋管道雾化喷淋后,快速冷却高温尾气成中温尾气后再进入换热器,使得换热器工作环境温度处在比较安全的中低温度...该专利属于陕西天宏硅材料有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过陕西天宏硅材料有限责任公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种热氢化炉尾气快速喷淋冷却装置,具体地说是一种多晶硅还原炉、热氢化炉尾气快速喷淋冷却装置,本实用新型将氯硅烷冷凝液通过喷淋管道雾化喷淋后,快速冷却高温尾气成中温尾气后再进入换热器,使得换热器工作环境温度处在比较安全的中低温度...