【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种三氯氢硅精馏的生产过程中,一种新型的换热工艺,特别是一种三氯氢硅精馏过程中的无水型冷凝及再沸工艺,属于硅化工领域。
技术介绍
三氯氢娃又称娃氯仿、娃仿或三氯娃烧,是生产有机娃、多晶娃的一种基础原料。随着电子器件、集成电路、太阳能等产业的发展,多晶硅的生产规模不断扩大。目前生产三氯氢硅通常采用硅粉与氯化氢在流化床中发生反应,反应后的合成液进入精馏塔内,通过单个或多个精馏塔的连续生产进行分离提纯。目前,国内外通用的三氯氢硅提纯通常采用精馏的方法,如说明书附图1所示,原料粗三氯氢硅从入口 14进入精馏塔1, 经过精馏塔的提纯,塔顶蒸汽4被冷凝器2冷却为液体,一部分回流液7重新进入精馏塔1,另一部分采出8 ;塔底液体13经过再沸器3的加热变为蒸汽,一部分回流蒸汽9重新进入精馏塔1,另一部分采出10。在此过程中,塔顶冷凝器2通常采用低温水冷,经过换热变为水蒸气,而塔底再沸器通常采用高温水蒸气加热,经过换热变为水。这种方法需要额外的水冷设备和高温水蒸汽发生设备,因此投资费用高,运行费用高,维修费用高,并且产生低温冷水和高温水蒸汽的能耗很高。该方法的另一个弊 ...
【技术保护点】
一种三氯氢硅精馏过程中的无水型冷凝、再沸系统,其特征是塔顶冷凝器的冷却介质采用液态三氯氢硅或液态四氯化硅或液态二氯氢硅作冷却介质;塔底再沸器采用三氯氢硅高温蒸汽或四氯化硅高温蒸汽或二氯氢硅高温蒸汽作加热介质。
【技术特征摘要】
1.一种三氯氢硅精馏过程中的无水型冷凝、再沸系统,其特征是塔顶冷凝器的冷却介质采用液态三氯氢硅或液态四氯化硅或液态二氯氢硅作冷却介质;塔底再沸器采用三氯氢硅高温蒸汽或四氯化硅高温蒸汽或二氯氢硅高温蒸汽作加热介质。2.如权利要求1所述的三氯氢硅精馏过程中的无水型冷凝、再沸系统,...
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