利用反应精馏生产硅烷及三氯氢硅的方法技术
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种，包括在反应精馏装置中通过氯硅烷歧化或反歧化制备硅烷或三氯氢硅的步骤，其特征在于所述歧化或反歧化反应采用脂肪胺和芳香胺混合的液体催化剂。采用本专利技术的方法，液体催化剂无需预处理，且催化剂置换方便，也不会对后续系统造成堵塞，失效后的催化剂回收简单，无液体废弃物或固体废弃物产生，清洁环保；催化歧化或反歧化的转化率高，生产过程易操作。【专利说明】
本专利技术涉及多晶硅制备
，具体涉及一种。
技术介绍
高纯多晶硅材料一直是半导体和光伏产业的基础原料，近年来，随着光伏电站装机容量的逐年增加，多晶硅行业也不断发展壮大与技术进步。多晶硅的主流制备方法有改良西门子法和流化床发，按反应原料体系可分为三氯氢硅体系或硅烷体系。随着全球多晶硅产能规模和单体生产规模也不断提高，使得改良西门子法多晶硅生产系统中积累的轻组分二氯二氢硅(DCS)的问题日益突出。二氯二氢硅通常可以作为反应原料通入少量到还原炉中参与化学气相沉积反应，以增加沉积速率，降低还原电耗。但大量的二氯二氢硅给系统平衡、精馏负荷与罐存带来巨大的压力。大量的二氯二氢硅通常可以...
【技术保护点】
一种利用反应精馏生产硅烷的方法，包括以下步骤：1）将三氯氢硅连续输送到歧化反应精馏塔中，液体催化剂通过泵从塔顶喷淋回流，塔顶采出低沸点的含少量二氯二氢硅的硅烷气体，塔釜采出四氯化硅及液体催化剂；2）由步骤1）塔釜采出的四氯化硅及催化剂送入四氯化硅/催化剂分离塔中进行分离回收，塔顶采出四氯化硅送至下游装置，塔釜得到液体催化剂通过泵作为歧化反应精馏塔的塔顶催化剂喷淋回流；其中，所述液体催化剂采用脂肪胺和芳香胺混合的液体催化剂。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋文武，蒋立民，马军，
申请(专利权)人：江苏中能硅业科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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