【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统，其特征在于：含氯硅烷废气淋洗产生的废水(1)从污水调节罐(2)进口端进入，所述污水调节罐(2)的出口端与污泥池(4)的一个入口端连接，所述污泥池(4)出口端与压滤机(5)入口端连接，所述压滤机(5)的一个出口端与中和罐(7)的一个入口端连接，压滤机(5)另一个出口端排出废渣(6)，所述中和罐(7)出口端与过滤器(8)入口端连接，所述过滤器(8)的一个出口端与出水罐(10)入口端连接，过滤器(8)另一个出口端排出滤渣(9)，所述滤渣(9)通过污泥池(4)的第二个入口端进入污泥池(4)内，所述出水罐(10)一个出口端与盛纳指标合格水容器连接，出水罐(10)另一个出口端与应急水池(11)入口端连接，所述应急水池(11)出口端与污泥池(4)的第三个入口端连接，浓硫酸储罐(3)的一个出口端与污泥池(4)的第四个入口端连接，浓硫酸储罐(3)的另一个出口端与中和罐(7)的另一个入口端连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋晓龙，苟文娜，张辉，屈杰，张鹏涛，赵辉，张俊峰，
申请(专利权)人：陕西天宏硅材料有限责任公司，
类型：发明
国别省市：陕西;61
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