用于多晶硅生产中含二氯二氢硅废液的回收利用装置制造方法及图纸

提供一种用于多晶硅生产中含二氯二氢硅废液的回收利用装置，包括废液储罐、高低沸处理精馏塔、脱轻精馏塔、四氯化硅提纯塔、混合器以及反歧化装置，废液储罐通过废液输送泵与高低沸处理精馏塔连接，高低沸处理精馏塔塔顶与脱轻精馏塔连接，脱轻精馏塔塔顶通过二氯二氢硅输送泵与混合器连接，高低沸处理精馏塔塔釜与四氯化硅提纯塔连接，四氯化硅提纯塔塔顶通过四氯化硅输送泵与混合器连接，混合器与反歧化装置连接，反歧化装置与废液储罐连接。本实用新型专利技术能够对多晶硅生产的废液中的二氯二氢硅循环回收转化，有效减少由于废液外排而造成的价值损失，提高了物质的回收利用率，降低废液处理的危险性，本实用新型专利技术能量消耗少，设备数量少，制造成本低。

A recycling device for two chlorine and two hydrogen silicon waste liquid in the production of polysilicon

【技术实现步骤摘要】
用于多晶硅生产中含二氯二氢硅废液的回收利用装置
本技术属废液处理
，具体涉及一种用于多晶硅生产中含二氯二氢硅废液的回收利用装置。
技术介绍
在多晶硅生产系统中，为了能够得到高纯的多晶硅成品，在原料处理部分必须要有物料杂质的富集与排放，而废液的处理常常会给生产单位带来较大经济负担与环保压力。随着国家对自然环境保护的逐步重视，环保压力以及环保成本将会越来越高，优化废液量以及提高废液处理能力是迫在眉睫需要解决的问题。现有多晶硅厂家其精馏废液中的二氯二氢硅危险性高，常温常压下就会发生爆炸，而现在对含二氯二氢硅废液的处理方法多为直接水解或者物料混合后作为危废外运，这种方式会有少部分二氯二氢硅作为系统低沸排出系统，导致二氯二氢硅会在排废中引起废液处理难度大，增加了成本并且具有较高的安全环保风险。因此有必要提出改进。
技术实现思路
本技术解决的技术问题：提供一种用于多晶硅生产中含二氯二氢硅废液的回收利用装置，本技术能够对多晶硅生产的废液中的二氯二氢硅循环回收转化利用，能有效减少由于废液外排而造成的价值损失，提高了物质的回收利用率，降低了废液处理的危险性，本技术采用的设备组合，能够减少单位物质与能量的本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于多晶硅生产中含二氯二氢硅废液的回收利用装置，其特征在于：包括废液储罐(5)、高低沸处理精馏塔(3)、脱轻精馏塔(4)、四氯化硅提纯塔(22)、混合器(16)以及反歧化装置(17)，所述废液储罐(5)通过废液输送泵(2)与高低沸处理精馏塔(3)连接而将废液储罐(5)内部含二氯二氢硅废液输送至高低沸处理精馏塔(3)内部进行精馏分离；所述高低沸处理精馏塔(3)塔顶与脱轻精馏塔(4)连接而将其塔顶产品输送至脱轻精馏塔(4)内精馏，所述脱轻精馏塔(4)塔顶通过二氯二氢硅输送泵(11)与混合器(16)连接并将脱轻精馏塔(4)内产生的塔顶物料输送至混合器(16)；所述高低沸处理精馏塔(3)塔釜与四氯化硅...

【技术特征摘要】
1.用于多晶硅生产中含二氯二氢硅废液的回收利用装置，其特征在于：包括废液储罐(5)、高低沸处理精馏塔(3)、脱轻精馏塔(4)、四氯化硅提纯塔(22)、混合器(16)以及反歧化装置(17)，所述废液储罐(5)通过废液输送泵(2)与高低沸处理精馏塔(3)连接而将废液储罐(5)内部含二氯二氢硅废液输送至高低沸处理精馏塔(3)内部进行精馏分离；所述高低沸处理精馏塔(3)塔顶与脱轻精馏塔(4)连接而将其塔顶产品输送至脱轻精馏塔(4)内精馏，所述脱轻精馏塔(4)塔顶通过二氯二氢硅输送泵(11)与混合器(16)连接并将脱轻精馏塔(4)内产生的塔顶物料输送至混合器(16)；所述高低沸处理精馏塔(3)塔釜与四氯化硅提纯塔(22)连接并将其塔釜液送至四氯化硅提纯塔(22)内部完成提纯，所述四氯化硅提纯塔(22)塔顶通过四氯化硅输送泵(26)与混合器(16)连接并将四氯化硅提纯塔(22)塔顶物料送至混合器(16)内；所述混合器(16)与反歧化装置(17)连接并将脱轻精馏塔(4)和四氯化硅提纯塔(22)输送来的物料混合后送至反歧化装置(17)内部完成反应，所述反歧化装置(17)通过与废液储罐(5)连接将其内部反应产物输送至废液储罐(5)内进行循环回收处理。2.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中含二氯二氢硅废液的回收利用装置，其特征在于：所述脱轻精馏塔(4)塔釜设有将塔釜物料输出的出口，所述脱轻精馏塔(4)塔顶连接有脱轻塔顶回流罐(7)，所述脱轻塔顶回流罐(7)与二氯...

【专利技术属性】
技术研发人员：张遵，秦渊博，符伟，陈自力，
申请(专利权)人：陕西天宏硅材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61