【技术实现步骤摘要】
木专利技术涉及一种二氯二氢硅在气相进行氯化的方法，更具体地，涉及一种多晶硅副产二氯二氢硅和氯在气相进行燃烧氯化反应制备四氯化硅的方法。
技术介绍
二氯二氢硅是改良西门子法多晶硅生产过程中除四氯化硅以外重要的副产物，部分多晶硅厂家将其与三氯氢硅配成一定比例送入还原炉用于多晶硅的生长，如中国专利CN102642834A。但生产实践表明，过多的二氯二氢硅送入还原炉会导致硅棒沉积不致密，硅粉堵塞管道等一系列问题。因此，将二氯二氢硅按一定比例用于多晶硅沉积的方法受到一定限制，该方法无法消耗整个系统产生的二氯二氢硅。在这种情况下，多数厂家将其送入尾 气处理工段在碱液作用下进行水解处理，或合并在四氯化硅残液中，但这些方式或是成本高昂或是造成资源的浪费或是产生环境的污染。美国联合碳化物公司开发一种将二氯二氢硅和四氯化硅在有机胺催化剂存在的情况下，将二氯二氢硅和四氯化硅通过反歧化反应合成三氯氢硅的全新工艺，实现了二氯二氢硅的利用并得到工业化推广。中国专利CN102068829A也公开了一种将二氯二氢硅转化为三氯氢硅的反歧化工艺，其技术原理与美国联合碳化公司基本一致，该专利将精馏过...
【技术保护点】
二氯二氢硅气相氯化的方法，其特征在于：首先使氢气和氯气进行燃烧反应，待燃烧焰稳定后，在氢气流中通入二氯二氢硅或直接向燃烧焰底部通入二氯二氢硅，同时按比例减少氢气的流量，在燃烧焰中二氯二氢硅被无选择性地氯化为四氯化硅。
【技术特征摘要】
1.二氯二氢硅气相氯化的方法，其特征在于首先使氢气和氯气进行燃烧反应，待燃烧焰稳定后，在氢气流中通入二氯二氢硅或直接向燃烧焰底部通入二氯二氢硅，同时按比例减少氢气的流量，在燃烧焰中二氯二氢硅被无选择性地氯化为四氯化硅。2.按照权利要求1所述的二氯二氢硅气相氯化的方法，其特征在于氢气和氯气燃烧反应时氢气摩尔流量相对氯气摩尔流量过量5 20%。3.按照权利要求1所述的二...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈俊，赵燕，
申请(专利权)人：宁夏胜蓝化工环保科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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