【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种多晶硅生产尾气回收方法及其装置。
技术介绍
高纯多晶硅的生产广泛地采用氢气还原SiHCI3法，即西门子法。该方法采用了开路式的工艺流程，原辅材料单耗高、能耗高，生产中产生的各种尾气、副产物未能有效地回收利用，“三废”处理量大、费用高，给环境带来不利的影响。在多晶硅生产尾气中，主要包括还原反应系统所产生的尾气三氯氢硅、四氯化硅、氯化氢、氢气，此部分尾气进入干法尾气分离回收装置分别进行分离回收；多晶硅尾气回收系统所产生的富含氮气、碳氧化合物等非金属杂质的废氢气；精懼系统所产生的尾气各种氯娃烧及氢气、氯化氢。 目前对西门子法生产多晶硅的尾气回收，只是针对还原反应系统所产生的尾气进行回收，多晶硅生产中还有大量的废气进行排放，其中不仅含有氯硅烷，还有大量的氢气和氯化氢气体，目前还原反应系统及多晶硅尾气回收系统排放的富含非金属杂质的氢气、精馏装置排放的尾气基本上未进行回收利用，大量的氢气和氯化氢气体不能得到良好的回收，回收不彻底。一般采用碱液淋洗吸收后排放放空，环保问题较为突出，氯硅烷、氢气和氯化氢损耗较大。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供...
【技术保护点】
一种多晶硅生产尾气再回收利用的装置，其特征在于：包括精馏装置尾气回收系统、尾气压缩系统、氢气纯化回收系统，其中，所述精馏装置尾气回收系统包括尾气收集罐（1）、一级水冷器（2）、深冷器（3）、气液分离罐（4），其中，尾气收集罐（1）的进气口与各精馏装置尾气输出口相连，尾气收集罐（1）的出气口与一级水冷器（2）的进口相连，一级水冷器（2）的出口与深冷器（3）的进口相连，深冷器（3）的出口与气液分离罐（4）相连，回收的冷凝液从第一氯硅烷回收罐的出液口流出返回精馏塔；所述尾气压缩系统包括一级尾气缓冲罐（5）、尾气压缩装置（6）、气气换热器（7），其中，气气换热器（7）的冷侧进气口接...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈朝霞，银波，陈喜清，张伟，刘桂林，张吉武，周慧，
申请(专利权)人：新特能源股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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