一种间隙式回收多晶硅生产中氯硅烷废液的方法及设备技术

本发明专利技术公开了一种间隙式回收利用多晶硅生产中洗涤塔排放废液中氯硅烷的方法，是将将从多晶硅生产中产生的氯硅烷废液间歇式分地进入蒸发装置，通过控制蒸发器温度120℃-180℃，压力0.1-0.6MPa时，将沸点较低的三氯氢硅、四氯化硅蒸发成气态，然后送入精馏塔净化处理后回收再利用，同时提供了上述方法中所用的蒸发装置。本发明专利技术的有益效果为：本方法工艺简单，工艺条件易于实现，且操作方便；在生产过程中改善了多晶硅生产中氯硅烷废液的处理难题，最主要的是减少了残液的排放量，减少了氯硅烷的浪费，减少了碱液池的处理负荷和缓解了环境的污染问题，减少了人力劳动量，降低了生产成本，实现了氯硅烷的完全回收，防止了设备堵塞现象。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及多晶硅制备领域的物质循环利用，具体涉及一种回收多晶硅生产中氯硅烷废液的方法及其专用设备。
技术介绍
多晶硅生产的氯硅烷废液包括有金属氯化物、聚合物、高沸物和氯硅烷化合物。所述金属氯化物为氯化铝和/或氯化钙；所述聚合物为三氯化磷的聚合物和/或三氯化硼的聚合物；所述高沸物为氯化铝、氯化铁和/或氯化钙；所述氯硅烷化合物为三氯氢硅和/或四氯化硅。这些物质都混合在废液中，其中氯硅烷化合物可以分离出来在提纯后重新利用、对金属氯化物、聚合物、高沸物分离后作为废料处理。目前多晶硅行业中，大多数企业都采用洗涤塔来去除三氯氢硅合成气中的气相杂 质和少量细小硅粉，同时在提纯精馏工序也会排放大量含有金属氯化物杂质的氯硅烷废液，排放的氯硅烷废液使用碱液进行淋洗，此方法造成淋洗时生成大量二氧化硅及氯化氢气体，清理难度较大，同时造成碱液大量浪费。专利申请号为CN201848184U，名称为《三氯氢硅合成废液汽化装置》，一种三氯氢硅合成废液汽化装置，其包括壳体和包覆在壳体外的外夹套，所述壳体上设有废液进口，壳体顶部设有废液汽化出口，外夹套所包覆的壳体部分处于废液进口的下方，外夹套为中空夹套，外夹套上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种间隙式回收多晶硅生产中氯硅烷废液的方法及设备，其特征为回收步骤如下：1）将多晶硅生产中排放的氯硅烷废液通过原料液进口通入蒸发装置中的蒸发器，通入量为整体设备液位的60？70%，关闭原料液进口；？2）调节蒸发装置中的蒸发器温度，控制在120？180℃，压力为0.1？0.6MPa开动蒸发装置中的搅拌器；3）氯硅烷化合物逐渐蒸发为气体，废液中的其它物质成为固体粉末，沉淀在蒸发器底部；4）将蒸发出的气体送入精馏塔进行净化处理，进而回收再利用；5）蒸发完毕后，停止搅拌，蒸发器中通入氮气，进行氮气置换；6）打开蒸发器底部固体杂质排放口，排出固体粉末，作废料处理；7）清理蒸发器内部，准备下次使用。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘兴平，崔建文，陈国辉，郑宝刚，呼维军，佟志强，
申请(专利权)人：新特能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：