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本实用新型公开了一种多晶硅生产尾气再回收利用的装置，包括精馏装置尾气回收系统、尾气压缩系统、氢气纯化回收系统所述精馏装置尾气回收系统包括尾气收集罐（1）、一级水冷器（2）、深冷器（3）、气液分离罐（4），所述尾气压缩系统包括一级尾气缓冲罐（...
该专利属于新特能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新特能源股份有限公司授权不得商用。

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