【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅生产
，尤其涉及一种用于多晶硅还原炉的硅芯棒组件及具有该硅芯棒组件的多晶硅还原炉。
技术介绍
制造多晶硅方法包括公知的西门子法，这种方法中，通常采用的还原炉由炉底和炉体组成反应室，炉底由冷却水系统进行冷却；钟罩型的炉体具有冷却水夹套，炉体坐落在炉底上。在炉底上还设置有多对电极和安装在电极上的用于沉积多晶硅的硅芯棒。硅芯棒是由两根长度约2 3米的立棒和连接两根立棒长度约为25 30cm的一根横棒为一组，可统称为一组“硅芯棒组件”，两根立棒分别安装在炉底的石墨电极上，一对石墨电极上安装一组娃芯棒组件。在工艺过程中，通电利用电阻加热将硅棒的温度加热到约110(Tll50°C，并将氯硅烧气体和氢气构成的混合气体作为原料气体导入还原炉内，使原料气体与加热后的娃芯棒接触而在硅芯棒上析出多晶硅。析出多晶硅的硅芯棒可以称为“硅棒”。然而，现有技术中，是把硅芯棒组件的横梁用钥丝绑在硅芯棒组件的立棒上，因此，在工艺过程初期，由于还原炉内气体流动，横棒与立棒之间有易松脱的问题；而在硅棒长粗后，钥丝被埋在硅棒里，在取下硅棒后并进行切割后，需要把含有钥丝部分的硅块另...
【技术保护点】
一种硅芯棒组件，用以设置在多晶硅还原炉中沉积多晶硅，其特征在于，该硅芯棒组件包括竖立安装的两根立棒和连接所述两根立棒的一根横棒，所述横棒的两端分别榫接在所述两根立棒的顶端。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：倪海江，潘宏启，李海军，陈文明，陈其顺，
申请(专利权)人：包头市山晟新能源有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：
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