The invention provides a single crystal furnace reflection device, which is arranged at the bottom of the single crystal furnace. The reflection device includes a first reflection plate, a second reflection plate, a heat preservation material and a reflection plate. The second reflecting plate is arranged under the first reflecting plate, the first reflecting plate and the second reflecting plate are filled with insulating materials, and the reflecting plate is arranged on the first reflecting plate. The reflecting plate improves the reflecting heat capacity of the reflecting device of the single crystal furnace. The insulating material is filled between the first reflecting plate and the second reflecting plate, which can effectively prevent the insulating material from absorbing the high temperature volatiles in the single crystal furnace, thus solving the problem of difficult cleaning and secondary pollution of the insulating material, and effectively slowing down the aging of the insulating material, and extending its service life.
【技术实现步骤摘要】
单晶炉反射装置
本公开涉及太阳能单晶硅生长
,尤其涉及一种单晶炉反射装置。
技术介绍
生产单晶硅即是在惰性气体保护条件下,用石墨加热器将多晶硅原料熔化,然后采用直拉法生长无错位单晶。由于石墨材料具有优异的耐高温性能和良好的化学稳定性,因此单晶硅生产用的坩埚、埚托、反射板、排气套、加热器、导流筒、保温筒等均用石墨材料制造。在单晶炉的底部一般采用石墨加软炭毡的结构作为反射板用于底部保温,但石墨材料导热系数高,因此热量反射性能较差,并且使用寿命短,需要频繁更换;而软炭毡经过长时间的高温后会渗入硅致使其保温性能下降,并且容易老化,这些都严重影响了单晶炉底部热量的反射和保温能力,增大了单晶硅生产的功耗。另一方面,由于生产中有许多杂质挥发出来,这些挥发物会沉积在炉底的石墨板和软炭毡内,沉淀在石墨上的杂质,每次出炉基本可以清理干净,但是,沉积在软炭毡内的杂质难以清理,残留的挥发物可能会污染多晶硅熔体,造成成晶困难,并影响单晶硅的品质。现有技术反射板仅由石墨单层结构或石墨和软碳毡配合使用,石墨反射板覆盖于软碳毡之上,但软碳毡裸露出来,在高温下容易老化,并且容易吸收炉内由于高温挥发的杂质,开炉后难以清理,再次使用时会对单晶炉内硅熔体造成二次污染,并影响单晶硅品质。石墨反射板反射热量能力差,多次高温后寿命变短。
技术实现思路
本公开的主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷,提供一种提高反射热量能力的单晶炉反射装置。为实现上述目的,本公开采用如下技术方案:根据本公开的一个方面,提供 ...
【技术保护点】
1.一种单晶炉反射装置,其特征在于,所述单晶炉反射装置设于所述单晶炉的底部,所述反射装置包括:/n第一反射板;/n第二反射板,设于所述第一反射板之下;/n保温材料,填充于所述第一反射板与第二反射板之间;以及/n反射片,设于所述第一反射板之上。/n
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉反射装置,其特征在于,所述单晶炉反射装置设于所述单晶炉的底部,所述反射装置包括:
第一反射板;
第二反射板,设于所述第一反射板之下;
保温材料,填充于所述第一反射板与第二反射板之间;以及
反射片,设于所述第一反射板之上。
2.根据权利要求1所述的单晶炉反射装置,其特征在于,所述第二反射板的厚度大于所述第一反射板的厚度。
3.根据权利要求2所述的单晶炉反射装置,其特征在于,所述第二反射板具有储存空间,所述保温材料填充于所述储存空间。
4.根据权利要求1所述的单晶炉反射装置,其特征在于,所述第一反射板和所述第二反射板均设有通孔。
5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:邹凯,和江变,曾世铭,
申请(专利权)人:包头市山晟新能源有限责任公司,
类型:新型
国别省市:内蒙;15
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。