具有绝缘组件的多晶硅还原炉制造技术

本实用新型专利技术提供了一种具有绝缘组件的多晶硅还原炉，绝缘组件包括绝缘防护装置和绝缘隔热结构，多晶硅还原炉具有电极安装孔，电极安装孔内穿设有电极，电极安装孔的孔壁与电极之间具有间隙，间隙内设置有绝缘防护装置，绝缘防护装置包括第一绝缘护套和位于第一绝缘护套上方的第二绝缘护套，绝缘隔热结构套设在电极外周，第二绝缘护套为无机材料制成，绝缘隔热结构包括套筒，套筒的至少一部分位于第二绝缘护套的内壁和电极之间的间隙内。根据本实用新型专利技术的具有绝缘组件的多晶硅还原炉，可以提高多晶硅还原炉的运行稳定性和生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅生产领域，具体而言，涉及一种具有绝缘组件的多晶硅还原炉。
技术介绍
多晶硅主要应用在太阳能光伏行业，近年来随着光伏行业的不断扩张，原料多晶硅也在迅猛的增长，然而生产多晶硅的方法中占主导地位的仍然是改良西门子法，市场占有率达到85%以上。在改良西门子法生产多晶硅的过程中，多晶硅的沉积设备多晶硅还原炉及相关配件是生产多晶硅的关键，这些配件主要包括多晶硅还原炉用电极、绝缘组件、喷嘴、石墨组件等，只有装备技术精良、各配套附件结构合理才能低能耗的生产出多晶硅。图1示出了现有技术的多晶硅还原炉的部分剖视结构示意图，如图1所示，现有技术的多晶硅还原炉具有电极安装孔，电极安装孔内穿设有电极2’，电极安装孔的孔壁与电极2’之间具有间隙，间隙内设置有绝缘防护装置3’，绝缘防护装置3’包括第一绝缘护套和位于第一绝缘护套上方的第二绝缘护套32’，其中，第二绝缘护套32’为聚四氟乙烯制成，在多晶硅还原炉运行的过程中，受高温影响第二绝缘护套32’易碳化变形粘结在电极安装孔内壁上，当这些被碳化的绝缘防护装置不能起到绝缘作用时，多晶硅还原炉就会出现电器故障，从而影响多晶硅还原炉的运行稳定性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有绝缘组件的多晶硅还原炉，所述绝缘组件包括绝缘防护装置(3)和绝缘隔热结构(4)，所述多晶硅还原炉具有电极安装孔(1)，所述电极安装孔(1)内穿设有电极(2)，所述电极安装孔(1)的孔壁与所述电极(2)之间具有间隙，所述间隙内设置有所述绝缘防护装置(3)，所述绝缘防护装置(3)包括第一绝缘护套(31)和位于所述第一绝缘护套(31)上方的第二绝缘护套(32)，所述绝缘隔热结构(4)套设在所述电极(2)外周，其特征在于，所述第二绝缘护套(32)为无机材料制成，所述绝缘隔热结构(4)包括套筒(41)，所述套筒(41)的至少一部分位于所述第二绝缘护套(32)的内壁和所述电极(2)之间的间隙内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：石何武，严大洲，肖荣晖，汤传斌，毋克力，杨永亮，郑红梅，
申请(专利权)人：中国恩菲工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11