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具有绝缘组件的多晶硅还原炉制造技术
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下载具有绝缘组件的多晶硅还原炉的技术资料
文档序号:12156720
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本实用新型提供了一种具有绝缘组件的多晶硅还原炉,绝缘组件包括绝缘防护装置和绝缘隔热结构,多晶硅还原炉具有电极安装孔,电极安装孔内穿设有电极,电极安装孔的孔壁与电极之间具有间隙,间隙内设置有绝缘防护装置,绝缘防护装置包括第一绝缘护套和位于第一...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。
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