下载硅芯棒组件和多晶硅还原炉的技术资料

文档序号:8397966

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本实用新型公开了一种硅芯棒组件及一种多晶硅还原炉,该硅芯棒组件用以设置在多晶硅还原炉中沉积多晶硅,该硅芯棒组件包括竖立安装的两根立棒和连接所述两根立棒的一根横棒,所述横棒的两端分别榫接在所述两根立棒的顶端。本实用新型的硅芯棒组件,连接牢固可...
该专利属于包头市山晟新能源有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过包头市山晟新能源有限责任公司授权不得商用。

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