【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种多晶硅生产领域，具体涉及改良西门子法生产多晶硅的尾气回收领域。
技术介绍
在改良西门子法生产多晶硅的尾气回收系统，氢化尾气及还原尾气回收系统中高压解析区的解析塔塔釜排出的高温贫液氯硅烷通过换热器水冷后，再用泵进行输送。合成尾气回收系统中高压解析区塔釜再沸器使用蒸汽进行加热，具体流程如下氢化尾气或还原尾气回收系统高压区在解析塔塔釜，富液氯硅烷通过解析塔塔釜再沸器被蒸汽加热至120 150°C进行解析，被解析后的120 150°C贫液氯硅烷通过再沸器冷却器进行换热后，降温至30 40°C再通过泵进行输送至下一设备。在解析塔塔顶，-40氯化氢液体被采出，送至汽化器进行电加热汽化。合成尾气回收系统高压区在合成解析塔塔釜，富液氯硅烷通过合成解析塔釜再沸器被蒸汽加热至110 125°c进行解析，被解析后的110 125°C贫液氯硅烷通过合成再沸器冷却器进行换热后，降温至40°C再通过泵进行输送至下一设备。在上述过程中氢化或还原贫液氯硅烷携带大量热量需要冷媒进行逐渐冷却消耗冷量，而合成富液氯硅烷需要热源进行加热消耗热量。但在目前工艺中合成尾气回收系统合成解析塔...
【技术保护点】
一种多晶硅尾气干法回收中热能回收系统，其特征在于，包括合成解析塔再沸器和冷却器，所述合成解析塔再沸器的热流体入口与120～150℃氢化或还原贫液氯硅烷入口连通，所述合成解析塔再沸器的热流体出口与所述冷却器连通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，陈喜清，陈朝霞，叶冬梅，张吉武，
申请(专利权)人：新特能源股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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