【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅生产领域，特别是涉及多晶硅生产中副产物的回收系统。
技术介绍
目前国内外80%以上的多晶硅企业都采用改良西门子法，但由于其热氢化工序中四氯化硅的转化率较低、能耗较高，因此已有部分多晶硅制造企业用冷氢化工艺替代了传统的热氢化来实现生产系统中的氯硅烷闭路循环，并达到节能降耗的目的。使用较为广泛的多晶制备副产物的回收系统如图1所示。将多晶硅生产时产生的包括氢气、氯硅烷和氯化氢的副产物还原尾气送入第一冷凝单元中，通过低温冷凝将绝大部分的氯硅烷冷凝下来送入第一提纯塔进行分离；含有少量氯硅烷、氯化氢和氢气的冷凝后气进入吸收-脱吸装置。在吸收-脱吸装置中，绝大部分的氯化氢被冷凝成液体送入氯化氢汽化器中，汽化后作为冷氢化反应的原料经由第一压缩机加压后送入冷氢化反应器；剩余的少量氯化氢、少量氯硅烷和氢气送入吸附单元。少量的氯硅烷和氯化氢在吸附单元中被吸附，剩余的纯氢送入氢气罐中，部分重新循环使用，部分经第二压缩机加压后送入冷氢化反应器。在对吸附单元用氢气进行再生时，从吸附单元中排出的含有少量氢气、少量氯硅烷气体和少量氯化氢气体的再生气进入第一冷凝单元重新分离。来自...
【技术保护点】
一种多晶硅生产中副产物的回收系统，用于将多晶硅生产时产生的还原尾气中的氢气、氯硅烷和氯化氢气体回收利用，其特征在于，所述回收系统包括：第一冷凝单元，用于从所述还原尾气中分离出大部分氯硅烷；与所述第一冷凝单元直接连通的吸附单元，用于除去从所述第一冷凝单元中出来的还原尾气中全部的氯化氢以及剩余的氯硅烷，从而得到纯氢；与所述吸附单元连通的冷氢化反应器，所述吸附单元用氢气再生得到的再生气作为冷氢化反应的原料送入所述冷氢化反应器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：齐林喜，
申请(专利权)人：内蒙古盾安光伏科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。