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本实用新型公开了一种多晶硅生产中副产物的回收系统，用于将多晶硅生产时产生的还原尾气中的氢气、氯硅烷和氯化氢气体回收利用，所述回收系统包括：第一冷凝单元，用于从所述还原尾气中分离出大部分氯硅烷；与所述第一冷凝单元直接连通的吸附单元，用于除去从...
该专利属于内蒙古盾安光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古盾安光伏科技有限公司授权不得商用。

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