【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅领域,尤其是涉及多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构。属多晶硅制备
技术介绍
多晶硅是生产单晶硅的直接材料。高纯度多晶硅是光电转换电池、集成电路等半导体器件的基础材料。随着世界半导体工业的迅猛发展、超大规格集成电路的大量应用、光伏电池的大量需求,整个世界对多晶硅的需求量在逐年增加。而生产多晶硅的过程中,还原炉等设备的尾气出口温度高达1000°C左右,且具有高温腐蚀性,为了把该温度降低到可以使用,通过U型多晶硅高温尾气热交换器来实现。通常都是在热交换器的高温腐蚀尾气气体的入口处焊接金属防冲板,该结构无法控制气体的流速和分布,且运行一段时间后,金属防冲板会被腐蚀烂掉,气体就会直接冲击换热管束,会在换热管表面产生无定型硅,从而影响换热效果轻则停炉拆开换热器更换管束,重则腐蚀掉换热管,使物料串通与水产生爆炸反应的严重事故。多晶硅高温尾气热交换器作为多晶硅生产过程中的主要辅助设备,对多晶硅的生产起到极其重要的作用,而多晶硅高温尾气热交换器的高温尾气防冲件又是保护该设备的核心,目前的防冲件普遍存在如下问题I、金属防冲件无法耐高温腐蚀,寿命 ...
【技术保护点】
一种多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构,其特征在于:所述结构包括圆柱堵头(1)、螺旋孔排管(2)和固定连接件(3),圆柱堵头(1)与螺旋孔排管(2)一端的内孔螺纹连接,固定连接件(3)与螺旋孔排管(2)另一端的内孔螺纹连接,所述螺旋孔排管(2)是在管壁开设多排螺旋孔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李子林,朱敏,孙惺惺,茅志权,惠泽,
申请(专利权)人:江苏双良新能源装备有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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