一种四氯化硅氢化反应设备及其固体原料连续供料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种四氯化硅氢化反应设备及其固体原料连续供料装置，所述四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，包括相连通的储料罐和计量罐，所述储料罐内储有四氯化硅氢化反应的固体原料，其中所述计量罐具有向四氯化硅氢化反应器提供所述固体原料的物料出口，且所述计量罐设有气压调节装置以调节所述计量罐中的气压。根据本实用新型专利技术示例的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，通过在计量罐上设置气压调节装置，有效解决了从气压较低的储料罐向气压较高的四氯化硅氢化反应器中送料困难的问题，该供料装置结构简单，使用方便且安全性高。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅制备
，更具体地，本技术涉及一种四氯化硅氢化反应设备及其固体原料连续供料装置。技术背景多晶硅生产过程中产生的大量的副产物四氯化硅，直接排放会严重污染环境。如何安全处理四氯化硅已成为制约多晶硅行业发展的“瓶颈”。目前，四氯化硅冷氢化技术解决了多晶硅副产物的问题。四氯化硅冷氢化技术是在一定的温度、压力下，四氯化硅、氢气以及硅粉和粉末状触媒加入反应器中，将四氯化硅转化为多晶硅生产的原料三氯氢硅，实现了物料的循环利用。由于冷氢化技术运行压力较高，一般在2. 0-3. 5MPa下运行，而固体物料硅粉及触媒需要从低压装置中加入到高压运行的反应器中，压差较大，而且在高温高压、易燃易爆的工况下，使得该固体物料加入反应器非常困难。
技术实现思路
本技术旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一或至少提供一种有用的商业选择。为此，本技术的一个目的在于提出一种结构简单、供料方便、安全性高的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置。根据本技术示例的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，包括相连通的储料罐和计量罐，所述储料罐内储有四氯化硅氢化反应的固体原料，其中所述计量罐具有向四氯化硅氢化反应器提供所述固体原料的物料出口，且所述计量罐设有气压调节装置以调节所述计量罐中的气压。根据本技术示例的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，通过在计量罐上设置气压调节装置，有效解决了从气压较低的储料罐向气压较高的四氯化硅氢化反应器中送料困难的问题，该供料装置结构简单，使用方便且安全性高。另外，根据本技术上述示例的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，还可以具有如下附加的技术特征所述气压调节装置包括加压管道，所述加压管道可连通和可闭合地与气源相连以便通过向所述计量罐中通入高压气体来增加所述计量罐中的气压；和泄压管道，所述泄压管道可连通和可闭合地与尾气源相连以便通过向所述尾气源排出所述计量罐中的气体来降低所述计量罐中的气压。所述加压管道为氢气加压管道。所述计量罐上还设有氮气管道。所述储料罐通过第一连通管道与所述计量罐相连，且所述第一连通管道上设有第一阀门以控制所述第一连通管道的开闭。所述计量罐的物料出口连接有第二连通管道，所述第二连通管道与所述四氯化硅氢化反应器相连接，所述第二连通管道上设有第二阀门以控制所述第二连通管道的开闭。所述第一阀门和所述第二阀门均为气动盘阀。所述气动盘阀均包括两台。所述储料罐位于所述反应器上方。所述计量罐上设有计量装置以计量所述计量罐内物料含量。本技术的另一个目的在于提出一种四氯化硅氢化反应设备。根据本技术示例的四氯化硅氢化反应设备，包括四氯化硅氢化反应器，所述四氯化硅氢化反应器具有固体原料进口和产品出口 ；和固体原料连续供料装置，所述固体原料连续供料装置为根据上述示例中所述的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置， 其中，所述计量罐的物料出口与所述四氯化硅氢化反应器的固体原料进口相连。所述计量罐位于所述四氯化硅氢化反应器的上方。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。附图说明本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对示例的描述中将变得明显和容易理解，其中图I是根据本技术示例的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置结构示意图；图2是根据本技术示例的四氯化硅氢化反应设备结构示意图。具体实施方式下面详细描述本技术的示例，所述示例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的示例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底” “内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。下面首先结合附图描述根据本技术示例的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置结构示意图。如图I所示，根据本技术示例的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置包括相连通的储料罐10和计量罐20。储料罐内10储有四氯化硅氢化反应的固体原料，计量罐20具有向四氯化硅氢化·反应器提供所述固体原料的物料出口，且计量罐20设有气压调节装置以调节计量罐20中的气压。由此，根据本技术示例的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，通过在计量罐20上设置气压调节装置，有效解决了从气压较低的储料罐10向气压较高的四氯化硅氢化反应器中送料困难的问题，该供料装置结构简单，使用方便且安全性高。在一个示例中，气压调节装置包括加压管道21和泄压管道22。加压管道21可连通和可闭合地与气源相连以便通过向计量罐20中通入高压气体来增加计量罐20中的气压，泄压管道22可连通和可闭合地与尾气源相连以便通过向所述尾气源排出计量罐20中的气体来降低计量罐20中的气压。有利地，在一个示例中，加压管道21可以通过气压调节装置调节计量罐20中的气压，当加压管道21与气源连通时，气源向计量罐20内通入高压气体，增加计量罐20中的气压，当计量罐20中气压大于等于四氯化硅氢化反应器中压力时，便可将计量罐20中的固体原料输送至四氯化硅反应器中；当泄压管道22与尾气源连通时，计量罐20向尾气源排出气体，降低计量罐20中的气压，当计量罐20中气压小于等于储料罐10中的气压时，可将储料罐10中的固体原料输送至计量罐20备用。在一个示例中，计量罐20上还设有氮气管道23。由此，在储料罐10装料时，氮气管道23可以断开储料罐10和反应器30，氮气起保护气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，其特征在于，包括相连通的储料罐和计量罐，所述储料罐内储有四氯化硅氢化反应的固体原料，其中所述计量罐具有向四氯化硅氢化反应器提供所述固体原料的物料出口，且所述计量罐设有气压调节装置以调节所述计量罐中的气压。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张升学，严大洲，肖荣晖，毋克力，汤传斌，杨永亮，万烨，
申请(专利权)人：中国恩菲工程技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：