一种四氯化硅氢化反应设备及其固体原料连续供料装置制造方法及图纸

技术编号:8429163 阅读:254 留言:0更新日期:2013-03-16 16:45
本实用新型专利技术公开了一种四氯化硅氢化反应设备及其固体原料连续供料装置,所述四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置,包括相连通的储料罐和计量罐,所述储料罐内储有四氯化硅氢化反应的固体原料,其中所述计量罐具有向四氯化硅氢化反应器提供所述固体原料的物料出口,且所述计量罐设有气压调节装置以调节所述计量罐中的气压。根据本实用新型专利技术示例的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置,通过在计量罐上设置气压调节装置,有效解决了从气压较低的储料罐向气压较高的四氯化硅氢化反应器中送料困难的问题,该供料装置结构简单,使用方便且安全性高。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅制备
,更具体地,本技术涉及一种四氯化硅氢化反应设备及其固体原料连续供料装置。技术背景多晶硅生产过程中产生的大量的副产物四氯化硅,直接排放会严重污染环境。如何安全处理四氯化硅已成为制约多晶硅行业发展的“瓶颈”。目前,四氯化硅冷氢化技术解决了多晶硅副产物的问题。四氯化硅冷氢化技术是在一定的温度、压力下,四氯化硅、氢气以及硅粉和粉末状触媒加入反应器中,将四氯化硅转化为多晶硅生产的原料三氯氢硅,实现了物料的循环利用。由于冷氢化技术运行压力较高,一般在2. 0-3. 5MPa下运行,而固体物料硅粉及触媒需要从低压装置中加入到高压运行的反应器中,压差较大,而且在高温高压、易燃易爆的工况下,使得该固体物料加入反应器非常困难。
技术实现思路
本技术旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一或至少提供一种有用的商业选择。为此,本技术的一个目的在于提出一种结构简单、供料方便、安全性高的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置。根据本技术示例的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置,包括相连通的储料罐和计量罐,所述储料罐内储有四氯化硅氢化反应的固体原料,其中所述计量罐具有向四氯化硅氢化反本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置,其特征在于,包括相连通的储料罐和计量罐,所述储料罐内储有四氯化硅氢化反应的固体原料,其中所述计量罐具有向四氯化硅氢化反应器提供所述固体原料的物料出口,且所述计量罐设有气压调节装置以调节所述计量罐中的气压。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张升学严大洲肖荣晖毋克力汤传斌杨永亮万烨
申请(专利权)人:中国恩菲工程技术有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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