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本实用新型公开了一种四氯化硅氢化反应设备及其固体原料连续供料装置，所述四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，包括相连通的储料罐和计量罐，所述储料罐内储有四氯化硅氢化反应的固体原料，其中所述计量罐具有向四氯化硅氢化反应器提供所述固体原料的物...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。

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