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提供一种用于多晶硅生产中含二氯二氢硅废液的回收利用装置，包括废液储罐、高低沸处理精馏塔、脱轻精馏塔、四氯化硅提纯塔、混合器以及反歧化装置，废液储罐通过废液输送泵与高低沸处理精馏塔连接，高低沸处理精馏塔塔顶与脱轻精馏塔连接，脱轻精馏塔塔顶通过...
该专利属于陕西天宏硅材料有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过陕西天宏硅材料有限责任公司授权不得商用。

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